「ナノ・プローバ」一覧

　微小デバイス特性評価装置“ナノプローバ” にて、冷陰極電界放出形電子銃を搭載したFE-SEM（走査電子顕微鏡）内に、微細なタングステン製のプローブ（探針）6本を配置したプロービング（針当て）装置で、FE-SEMによる、リアルタイム像観察しながらのプロービングが可能な装置です。
　FE-SEM内に配置された6本のプローブは、独立制御され、トランジスタを構成する｢ソース｣｢ドレイン｣｢ゲート｣｢基板｣等とつながったコンタクトにそれぞれ当てることで、半導体デバイス等の特性を測定したり、搭載オプションに応じた解析を行うことができます。