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7/22【セミナー】薄膜の力学的特性と内部応力・密着性制御、測定・評価

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イベント名 薄膜の力学的特性と内部応力・密着性制御、測定・評価
開催期間 2019年07月22日(月)
10:30~16:30
会場名 東京・品川区大井町 きゅりあん 4F 研修室
会場の住所 東京都
地図 https://www.science-t.com/hall/16431.html
お申し込み期限日 2019年07月19日(金)16時
お申し込み

 

【※主に金属系薄膜にて解説いたします。有機系薄膜ではございません。】

~薄膜の密着性改善、膜の壊れ方の多様性、良質の膜をつくる技術~
~スクラッチ試験のノウハウ、故障解析と密着性、異種材料接合部の力学~

 
★ 自分で密着性の測定を行うにあたって特に注意するべき点とは!?
★ 薄膜内の応力と密着性メカニズム、スクラッチ法についてその注意点とエッセンスが身に付きます。

 

講師

 

成蹊大学 名誉教授 馬場 茂 氏

 

 受講料(税込)

 

48,600円(本体45,000円+税3,600円)※資料・昼食付
キャンペーン!2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の24,300円)

 

 趣旨

 

 薄膜の密着性を改善するためには薄膜あるいは界面の特性をよくすればよい。しかし、どれだけよくすれば効果が現れるのか判断することが難しい。意外に知られていないことが、密着性は破壊現象の測定であってそのメカニズムによって臨界値が変わることです。そして、他人のデータ(他の装置の結果)を利用することはもっと難しいことです。
 自分で密着性の測定を行うに当たって特に注意するべき点を紹介します。また、密着性と関係が深い内部応力などの性質や、そうした力学的性質を通して膜の壊れ方の多様性、ひいては良質の膜をつくる技術を学びます。

 

 プログラム

 

<得られる知識、技術>
力学的性質の測定の仕方、信頼性のある密着性の測定方法を学びます。とくにスクラッチ法について、その注意点とエッセンスが身に付きます。

<プログラム>
1.膜内の応力

 1.1 熱応力と真性応力~固体薄膜の力学
 1.2 マクロな変形とStoneyの式
 1.3 ミクロな測定技術~ラマン分光、薄膜X線回折
 1.4 内部応力を下げればよいか?(多層化、端面構造)
 1.5 結晶配向性も影響する
 1.6 硬さと靭性(どこまで耐えられるか)
 1.7 超微小硬さ測定~構造欠陥と硬さ
 1.8 ハードコーティングは耐腐食性にある!

2.薄膜の密着性
 2.1 表面エネルギー(表面張力)と付着
 2.2 密着性とは(剥離損傷・耐久性・寿命)
 2.3 (機械的)密着性の測り方とそのポイント
   ピール、プル、スクラッチ、インデンテーション、3点‐4点‐曲げ試験
 2.4 故障解析からの密着性評価とワイブル分布
 2.5 密着性を改善する手段~特にプラズマ援用技術
 2.6 異種材料接合部の力学( Dundurs の基準)

3.スクラッチ試験 ~振動式マイクロスクラッチ試験
 3.1 圧子荷重・せん断応力・界面エネルギー
 3.2 試験条件および再現性と信頼性
 3.3 スクラッチの物理と破壊力学・刺激部の深さ変化
 3.4 光学薄膜と振動式スクラッチ試験 JIS R3255
 3.5 他の密着性試験との相関(臨界損傷の違い)
 3.6 軟質膜および粘性膜への応用

4.窒化チタン膜の製膜技術の発展
 4.1 製膜技術と薄膜構造
 4.2 注目すべき大電力スパッタリング技術

  □質疑応答・名刺交換□

 

━━━━━━━━━━━━◆キャンペーンについて◆━━━━━━━━━━━━━━━━━━

≪お申し込み方法≫

 お申し込みページ一番上の連絡事項欄に「2名同時申込み」希望の旨と、

 2人目の受講者様の情報(お名前・メールアドレスは必須)をご入力ください。

 住所等が申込者様と同一の場合は、省略いただいて結構です。

・2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。詳細は別途ご連絡いたします。

・同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。

・3名様以上でお申込みの場合、3人目以降は定価の半額で受講できます。

・受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。

・請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。ご希望の場合はお知らせください。

・他の割引は併用できません。

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○お申し込み後、サイエンス&テクノロジーより確認のご連絡を差し上げます。

○受講料は銀行振込、または当日会場にて現金でお支払いください。

○お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以前でのキャンセル: キャンセル料はいただきません

・開催3~6日前でのキャンセル: 受講料の70%

・開催当日~2日前でのキャンセル・欠席: 受講料の100%

※受講料入金後での7日前以前のキャンセルについて、返金の手続きが発生した場合の振込手数料はお客様負担とさせていただきます。

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※お申し込み詳細についてはQ&Aにも掲載しております。

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