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イベント

8/28【セミナー】スパッタリング法入門

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イベント名 スパッタリング法入門
開催期間 2019年08月28日(水)
13:00~16:30
会場名 東京・大田区蒲田 大田区産業プラザ(PiO) 6F D会議室
会場の住所 東京都
地図 https://www.science-t.com/hall/16430.html
お申し込み期限日 2019年08月27日(火)16時
お申し込み受付人数 30  名様
お申し込み

 

~効率的な成膜条件確立のための原理原則理解とケーススタディ考察~

 
初学者の入門や、成膜の最適条件の確立に悩み中の方へおすすめ!
スパッタリング法による成膜技術の基礎を学ぶことができるセミナーです。
条件を変えたときに起こる現象を理解して、試行錯誤の条件設定から脱却しましょう。
具体例解説として、ケーススタディ(膜の作製例と品質に影響する因子の計測・分析例)考察もあります!

 

講師

 

中部大学 工学部 応用化学科 教授 博士(工学) 山田 直臣 氏 

 

 受講料(税込)

 

43,200円(本体40,000円+税3,200円)※資料付
キャンペーン!2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の21,600円

 

 趣旨

 

 真空プロセスを用いた薄膜の作製方法には様々な種類があります。なかでもスパッタリング法は大面積基板へ高速に薄膜を形成できるため,工業的に重要な技術です。スパッタリング法で良質な薄膜を得るには成膜条件の設定が極めて重要です。しかし,最適条件の確立は試行錯誤的になりがちです。 効率的な最適条件の確立には,スパッタリング法の基礎を理解することが欠かせません。

 本セミナーでは,成膜条件を変えた時に起こる現象を正しく理解できるようになることを主な目的とし,真空・スパッタリング法の基礎的な知識を整理します。さらに,薄膜の分析法についても解説し,分析結果をどのように成膜条件にフィードバックするかについても紹介いたします。また,ケーススタディとして透明導電膜の最適条件の確立についてもご紹介いたします。

 

 プログラム

 

<対象>

本セミナーの対象は,スパッタリング法を使い始めた初心者の方や最適条件の確立にお困りの方を想定しております。
真空技術やスパッタリング法の基礎知識や成膜条件設定の考え方についての知識が得られるよう講演します。


<プログラム>

1.スパッタ薄膜の概観
  
1.1 スパッタリング法と蒸着法の違い
  1.2 スパッタ条件選定の重要性
  1.3 スパッタリング法の応用例

2.真空・低圧気体の運動 
  2.1 真空の必要性
  2.2 気体の分子運動
  2.3 真空を作る・計る

3.放電現象 
  3.1 気体と電子の衝突
  3.2 グロー放電
  3.3 高周波放電
  3.4 マグネトロン放電

4.スパッタリング法 
  4.1 スパッタリング現象
  4.2 スパッタ装置の構成
  4.3 スパッタリング法の方式

5.スパッタ薄膜の成長と特性 
  5.1 微細構造と特性
  5.2 スパッタ薄膜の成長過程
  5.3 反応性スパッタリング法

6.ケーススタディ
 「作る」編
   ・透明導電膜の成膜条件設定
 「計る」編
   ・金属イオンの化学状態
   ・アルゴントラップ
   ・残留ガスの影響

□ 質疑応答 □

 

━━━━━━━━━━━━◆キャンペーンについて◆━━━━━━━━━━━━━━━━━━

≪お申し込み方法≫

 お申し込みページ一番上の連絡事項欄に「2名同時申込み」希望の旨と、

 2人目の受講者様の情報(お名前・メールアドレスは必須)をご入力ください。

 住所等が申込者様と同一の場合は、省略いただいて結構です。

・2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。詳細は別途ご連絡いたします。

・同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。

・3名様以上でお申込みの場合、3人目以降は定価の半額で受講できます。

・受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。

・請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。ご希望の場合はお知らせください。

・他の割引は併用できません。

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○お申し込み後、サイエンス&テクノロジーより確認のご連絡を差し上げます。

○受講料は銀行振込、または当日会場にて現金でお支払いください。

○お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以前でのキャンセル: キャンセル料はいただきません

・開催3~6日前でのキャンセル: 受講料の70%

・開催当日~2日前でのキャンセル・欠席: 受講料の100%

※受講料入金後での7日前以前のキャンセルについて、返金の手続きが発生した場合の振込手数料はお客様負担とさせていただきます。

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※お申し込み詳細についてはQ&Aにも掲載しております。

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