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12/21 【Live配信(リアルタイム配信)】  EUVリソグラフィ最新概論 EUVL 用材料・技術の進化と半導体製造の動向および展望

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電気・電子・半導体・通信 光学・照明・表示デバイス  / 2020年10月26日 /  産業機械機器 電子・半導体 光学機器
イベント名 【Live配信(リアルタイム配信)】  EUVリソグラフィ最新概論 EUVL 用材料・技術の進化と半導体製造の動向および展望
開催期間 2020年12月21日(月)
10:30~16:30
会場名 Live配信セミナー(リアルタイム配信) ※会社・自宅にいながら学習可能です※
会場の住所 東京都
お申し込み期限日 2020年12月20日(日)16時
お申し込み受付人数 30  名様
お申し込み

【Live配信(リアルタイム配信)】 
EUVリソグラフィ最新概論
EUVL 用材料・技術の進化と半導体製造の動向および展望

~AI・5G時代を支える極端紫外線露光技術~
光源、多層膜、反射光学系、反射型マスク技術、レジスト、ペリクル・・etc.

 


5GやAI対応で益々の高速・大容量・低電力・軽量・小型可が求められる半導体にEUVLが活用され始めた。
iPhone12を筆頭にEUVLを用いた製品も市場に続々と登場! EUVL導入の効果とは?

その技術の概要とは? 
次期システム・高NA機の開発概要とは?

 

講師

 

兵庫県立大学 名誉教授 工学博士 木下 博雄 氏

【専門】X線光学、微細加工 

 

 受講料(税込)

 

49,500円(本体45,000円+税4,500円)※資料付

キャンペーン!2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額24,750円) 

 

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
 1名申込みの場合:受講料( 定価:35,200円/S&T会員 33,440円 )
35,200円 ( S&T会員受講料 33,440円 ) 

  定価:本体32,000円+税3,200円
  会員:本体30,400円+税3,040円
※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
※他の割引は併用できません。

 

 趣旨

 

 Covid-19と米中貿易摩擦の煽りを受け、世の中全体に不景気感が広がっているが、iPhone 12の登場は本格的な5G世代の幕開けを宣言するに十分な効果をもたらした。とくに、AI対応での高速・大容量・低電力に加え、軽量・小型の実現には極端紫外線露光技術の寄与が大きい。ようやく、半導体素子の量産に使われ始めた本技術について詳述する。 

 

 プログラム

 

<得られる知識・技術>

国内外での半導体製造の実情。今後の半導体製造の動向。

EUVL用プラズマ光源・反射光学系・反射型マスク・レジスト材料・ステージなどの技術内容。

<対象>

 レジスト・マスク・光源・検査装置等の要素技術開発に携わる企業。
数式等は一切なく、技術をVisualに説明する。

 

<講演内容>

 1.半導体製造の現状
 1.1 微細化の効果
 1.2 EUVLの概要と導入の効果
 1.3 EUVL導入例
 1.4 微細化の将来

2.極端紫外線露光の概要と歴史

3.個別技術の進展

 3.1 光源開発
   1) 要求性能
    2) LPP光源の現状と課題
 3.2 多層膜技術
    1) 多層膜の概要と設計法
    2) 多層膜の成膜技術
    3) 多層膜の評価
 3.3 反射光学系
    1) 反射光学系の要求条件
    2) 反射光学系の設計法
    3) ミラーの加工法と評価
    4) ミラー光学系の合わせ法
 3.4 反射型マスク技術
     1) 反射型マスクの要求条件
     2) マスクの構造と製作法
     3) マスク検査技術
 3.5 EUVレジスト
     1) EUVレジストの要求条件
     2) レジストの現状
 3.6 ペリクル技術

4.次期システム・高NA機の開発概要

5.今後の課題

  

    □質疑応答□

 

[キーワード]半導体製造技術、極端紫外線リソグラフィー、反射光学系、多層膜
[参考書]Hiroo Kinoshita “Extreme Ultraviolet Lithography-Principles and Basic   Technologies Lambert社2016年発行 Amazonにて購入可
 

 

【ZoomによるLive配信】

・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。

・お申込み受理のご連絡メールに接続テスト用のURL、ミーティングID 、パスコードが記されております。

 「Zoom」をインストールができるか、接続できるか等をご確認下さい。

・セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。

・開催日時にリアルタイムで講師へのご質問も可能です。

・タブレットやスマートフォンでも視聴できます。 

 

<配布資料>

・製本テキスト(開催日の4,5日前に発送予定)+PDFテキスト(印刷不可)
 ※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
 ※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、
  開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。

   ※PDFテキストはマイページより任意でダウンロードいただきます。(開催の営業日2日前よりダウンロード可)

  

━━━━━━━━━━━━◆キャンペーンについて◆━━━━━━━━━━━━━━━━━━

≪お申し込み方法≫

 お申し込みページ一番上の連絡事項欄に「2名同時申込み」希望の旨と、

 2人目の受講者様の情報(お名前・メールアドレスは必須)をご入力ください。

 住所等が申込者様と同一の場合は、省略いただいて結構です。

・2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。詳細は別途ご連絡いたします。

・同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。

・3名様以上でお申込みの場合、3人目以降は定価の半額で受講できます。

・受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。

・請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。ご希望の場合はお知らせください。

・他の割引は併用できません。

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○お申し込み後、サイエンス&テクノロジーより確認のご連絡を差し上げます。

○受講料は銀行振込、または当日会場にて現金でお支払いください。

○お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以前でのキャンセル: キャンセル料はいただきません

・開催3~6日前でのキャンセル: 受講料の70%

・開催当日~2日前でのキャンセル・欠席: 受講料の100%

※受講料入金後での7日前以前のキャンセルについて、返金の手続きが発生した場合の振込手数料はお客様負担とさせていただきます。

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※お申し込み詳細についてはQ&Aにも掲載しております。

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