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1/27 【LIVE配信(リアルタイム配信)】 【徹底解説】 超精密研磨/CMPプロセス技術全容の理解から将来型技術へ

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電気・電子・半導体・通信 表面科学:接着・コーティング  / 2020年11月21日 /  電子・半導体 先端技術
イベント名 【LIVE配信(リアルタイム配信)】 【徹底解説】 超精密研磨/CMPプロセス技術全容の理解から将来型技術へ
開催期間 2021年01月27日(水)
10:30~16:30

【LIVE配信受講】2021年1月27日(水) 10:30~16:30
※会社・自宅にいながら学習可能です※
会場名 東京・品川区大井町 きゅりあん 5F 第4講習室
会場の住所 東京都
地図 https://www.science-t.com/hall/16431.html
お申し込み期限日 2021年01月26日(火)16時
お申し込み受付人数 30  名様
お申し込み

【LIVE配信(リアルタイム配信)】
【徹底解説】
超精密研磨/CMPプロセス技術全容の理解から

将来型技術へ

 

このセミナーは【会場での受講】の他に、
【LIVE配信】でのご受講が可能です。
※Live配信セミナーは、自宅やオフィスからWebにて受講いただけます。
またテキストは事前に郵送いたします。
 
CMP技術について基礎から応用、将来技術まで徹底解説!

◆基礎編◆ 加工メカニズム、消耗資材としてのパッド・スラリー等、平坦化CMP技術の
徹底理解
◆応用編◆ SiC/GaN/ダイヤモンド基板を主とする難加工材料の加工プロセスの徹底理解
◆将来加工技術編◆ 加工環境制御CMP、プラズマ融合CMP、その他の将来加工技術

  

講師

 

九州大学/埼玉大学 名誉教授 / ㈱Doi laboratory  土肥 俊郎 氏
 【専門】超精密加工プロセス技術とその応用

  

 受講料(税込)

  

49,500円(本体45,000円+税4,500円)※資料・昼食(会場受講の場合のみ)

キャンペーン!2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額24,750円)  

 

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
 1名申込みの場合:受講料( 定価:35,200円/S&T会員 33,440円 )
    35,200円 ( S&T会員受講料 33,440円 ) 

  定価:本体32,000円+税3,200円
  会員:本体30,400円+税3,040円
※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
※他の割引は併用できません。

 

 趣旨

 

 近年では、多機能・高性能化を目指した新しいデバイスが次々と提案され、それと相まって、半導体Si以外の新たな材料が使用されるようになってきました。特に、パワー/高周波デバイス用あるいはLED用としてサファイア、SiC、GaN, Diamondなどの難加工基板が脚光を浴びています。それに加えて、データセンター。基地局用にもLT, LN、GaAsなどの結晶基板の適用も要請されている。これらの多種多様な基板を高能率・高品質に超精密加工するためには、熟成・定着してきたベアSiウェーハをはじめ、デバイスウェーハ平坦化CMP技術などを例にして、加工技術の基礎を徹底理解しておくことが必要不可欠です。

 本セミナーでは、長年培ってきたガラスを含めた機能性材料基板の超精密加工プロセス技術について徹底的に掘り下げた情報を盛り込みながら、あらゆる材料の超精密加工実現の門外不出のノウハウも含めながら、難加工材料のCMP技術や超精密加工プロセス技術などを詳細に解説します。さらに、究極デバイス用ダイヤモンド基板を含めた高効率加工プロセスなどについても言及し、新しい研究開発のビジネスチャンスをつかんでいただく橋渡しをさせていただきます。

 

 プログラム

 

<得られる知識・技術>

〇オプトメカトロニクス・半導体分野の超精密加工プロセス技術の基礎から
 デバイスへの応用技術までの全容を理解してビジネスチャンスを得ることが出来る
〇超精密加工技術の現状と将来加工技術の展望を把握して次の一手のヒントを得られる

 

<対象>

【1】 研磨・CMP技術を学びたい方、或いは 現在研究開発中の方
【2】 これから研磨・CMPとその周辺技術でビジネスチャンスを捕えようとする方
【3】 加工技術・プロセス技術分野で新しいビジネスを試みたい方
【4】 半導体加工分野で新しい領域のシーズを探索されている方
【5】 半導体領域で横のつながり、産学連携を望む方       など

 

<講演内容>

 Ⅰ 超精密加工技術の基礎編(1)
   ―研磨/CMPの発展経緯と加工メカニズム基礎、各種基板の加工事例から基本技術を徹底理解―

   1. 超精密研磨(研削/ラッピング/ポリシング/CMP等)技術の位置づけ/必要性と適用例
   2. 基本的加工促進のメカニズム概要の理解
   3. 各種機能性材料の超精密ポリシング ~コロイダルシリカ・ポリシング/CMPを含めて~
    (ここで登場する被加工用基板; HD・光ファイバ用ガラス、Si,サファイア、GaAs, LT, 水晶、GGG, SiC、有機結晶など)
 
Ⅱ 消耗資材・周辺加工技術の基礎編(2)
   ―加工メカニズムからパッド・スラリー、コンディショニング、リサイクル技術を徹底理解の事例―

   1. 硬軟質二層構造パッド -高精度高品位化パッドの考案・試作―
   2. ダイラタンシー現象応用スラリーとパッドの考案・試作
   3. レアアース対策としてのセリア代替の二酸化マンガン系砥粒 -ガラスの研磨事例―
   4. スラリーのリサイクル技術 
     4.1 ガラス/酸化膜CMP用セリアスラリーのリサイクル技術
       4.2 メタルCMP用スラリーのリサイクル技術
    (ここで登場する被加工用基板; Si, SiC, HD用ガラス、メタルW, GaNなど)
 
Ⅲ 超精密加工技術の応用編/将来加工技術(1)
   ―超LSIデバイスの多層配線加工用の平坦化(プラナリゼーション)CMP技術の徹底理解―

   1. デバイスウェーハの動向と平坦化CMPの必要性
   2. 平坦化CMPの基本的考え方と平坦化CMPの事例-パッド・スラリーそして装置―
   3. パッドのドレッシング -非破壊ドレッシング/HPMJとハイブリッドin-situ HPMJ法の提案―
   4. CMP用スラリーの設計とそのため必須のダイナミック電気化学(d-EC)装置の紹介
   5. Siウェーハのナノトポグラフィ問題、他
    (ここで登場する被加工用基板; Si, SiO2, Cu, W, Co, Ta, TaN, TiN, など)
 
Ⅳ 超精密加工技術の応用編/将来加工技術(2)
  ―革新的高能率・高品質加工プロセス技術 -SiC・GaN/Diamond基板を対象として―

     1. 将来型加工技術に向けて
     1.1 加工雰囲気を制御するベルジャ型CMP装置
     1.2 パワーデバイス用SiC単結晶の光触媒反応アシストCMP特性
         2. 革新的加工技術へのブレークスルー(2つの考え方)
     2.1 加工条件改良型ブレークスルー
               ダイラタンシーパッドと高速高圧加工装置の考案とその加工プロセス・加工特性事例
             2.2 挑戦型加工によるブレークスルー
               将来型プラズマ融合CMP法の考案とその加工特性事例
         (ここで登場する加工用基板;SiC, HD用ガラス、GaN, ダイヤモンド、サファイア、Si, SiO2など)
 
Ⅴ 今後の加工技術を捉える-深化するAIと“シンギュラリティ(技術的特異点)”を見据えて-

   重要三大加工技術のキーワード
             超精密CMP融合技術、趙薄片化プロセス技術、大口径超精密ボンディング技術

  □質疑応答・名刺交換□

 

 

<特典> 

本セミナーにご参加頂いた方は電話・面談などで講師に直接相談することが出来ます
 (企業紹介や共同研究などへ発展したケースが多数ございます)

 

 

【Live配信対応セミナー】【WEBセミナー:アーカイブ受講対応セミナー】
 ※お申し込み画面では、【会場受講】または【Live配信】のいずれかをご選択いただけます。
 ※【Live配信】の申込み受付の締切日も、会場受講のセミナー開催日までです。

 ご注意ください。​

 

【Live配信セミナー】をご選択の場合、以下の流れ・受講内容となります。
 ※会場で受講の場合、このサービスは付与されませんのでご注意ください。
 ・当日のセミナーを、リアルタイムでお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴いただきます。
 ・開催当日、S&T会員マイページ(無料)にログインいただき、ご視聴ください。
 ・セミナー資料は事前に印刷・郵送いたしますので、なるべくお早めにお申込みください。
  ※お申込みが開催日直前の場合、資料が後日届く可能性がありますのでご了承ください。

 ・開催日時にリアルタイムでチャットにて講師へのご質問も可能です。

 

<配布資料>

製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
※開催日の4~5日前に発送します。
 開催前日の営業日の夕方までに届かない場合はお知らせください。
※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、
 セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。


  

━━━━━━━━━━━━◆キャンペーンについて◆━━━━━━━━━━━━━━━━━━

≪お申し込み方法≫

 お申し込みページ一番上の連絡事項欄に「2名同時申込み」希望の旨と、

 2人目の受講者様の情報(お名前・メールアドレスは必須)をご入力ください。

 住所等が申込者様と同一の場合は、省略いただいて結構です。

・2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。詳細は別途ご連絡いたします。

・同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。

・3名様以上でお申込みの場合、3人目以降は定価の半額で受講できます。

・受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。

・請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。ご希望の場合はお知らせください。

・他の割引は併用できません。

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○お申し込み後、サイエンス&テクノロジーより確認のご連絡を差し上げます。

○受講料は銀行振込、または当日会場にて現金でお支払いください。

○お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以前でのキャンセル: キャンセル料はいただきません

・開催3~6日前でのキャンセル: 受講料の70%

・開催当日~2日前でのキャンセル・欠席: 受講料の100%

※受講料入金後での7日前以前のキャンセルについて、返金の手続きが発生した場合の振込手数料はお客様負担とさせていただきます。

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※お申し込み詳細についてはQ&Aにも掲載しております。

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