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4/28 【Live配信(リアルタイム配信)】 プラズマエッチングにおける プラズマダメージの発生メカニズムと制御

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イベント名 【Live配信(リアルタイム配信)】 プラズマエッチングにおける プラズマダメージの発生メカニズムと制御
開催期間 2021年04月28日(水)
13:00~16:30
※会社・自宅にいながら学習可能です※
会場名 Live配信セミナー(リアルタイム配信)
会場の住所 東京都
お申し込み期限日 2021年04月27日(火)16時
お申し込み受付人数 30  名様
お申し込み

【Live配信(リアルタイム配信)】
プラズマエッチングにおける
プラズマダメージの発生メカニズムと制御

~3次元構造における新しいプラズマダメージ機構や最新動向についても解説~

 

歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージ。
その現象を理解し制御するために必要な知識を、最新動向を含めて解説します。

  

講師

 

京都大学 大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻 教授 博士(工学) 江利口 浩二 氏

 

 受講料(税込)

 

44,000円( E-Mail案内登録価格 41,800円 )※資料付

   定価:本体40,000円+税4,000円
   E-Mail案内登録価格:本体38,000円+税3,800円

キャンペーン!2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の22,000円)

 

テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:受講料( 定価 35,200円/E-Mail案内登録価格 33,440円 )

35,200円 ( E-Mail案内登録価格 33,440円 ) 
 定価:本体32,000円+税3,200円
 E-Mail案内登録価格:本体30,400円+税3,040円
1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
※他の割引は併用できません。

 

 趣旨

 

 現在、超微細半導体デバイスをはじめ、さまざまなデバイス製造において、プラズマプロセスは重要な役割を担っている。例えば、プラズマエッチングにおいては、想定外のプラズマとデバイス(固体)との相互作用が、デバイス特性・信頼性へ影響を及ぼす。この現象は、プラズマ誘起ダメージと呼ばれ、製造装置設計、プロセス設計、デバイス設計、回路設計において大きな問題となっている。それら現象の基礎的理解は、研究開発のみならず、生産現場でのプロセス管理においても重要である。しかしながら、一般の専門書だけでは、最先端のプラズマエッチングの実用上の課題であるプラズマ誘起ダメージを把握し、制御することは困難である。
 本講座では、近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として、プラズマ誘起ダメージをとりあげる。近年のデバイスの3次元化に伴う新しいプラズマダメージ形成機構や、デバイス設計に必要なデバイス劣化モデル、材料設計に必要な原子レベルでのプラズマダメージモデル、およびその制御について最新の発表動向を交えて議論する。 

 

 プログラム

 

<得られる知識・技術>

・デバイス信頼性を保証するプラズマプロセスの開発に必要な基礎知識
・プロセス開発現場で必要とされる工学・統計学に関する基礎知識

 

<対象>

企業などでプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方、プロセス設計に従事されている方,デバイス信頼性評価に従事されている方など。

(主にプロセス・デバイス開発に関連する業務に従事されている方)
予備知識について:大学で理系科目を習得していれば特に問題ありません。
企業,大学での勤務経験をもとに,何が大切か?を伝えたいと思います。

 

<講演内容>

 1.プラズマとは
 1.1 現代社会におけるプラズマ技術の応用例
 1.2 プラズマを理解するためのパラメータ
 
2.プラズマエッチングとは
 2.1 超微細半導体デバイスの歴史(加工技術を中心に)
 2.2 超微細半導体デバイス製造におけるプラズマエッチングの役割
 2.3 プラズマエッチングの基礎(反応表面の構造について)
 
3.プラズマエッチングにおける技術課題について
 3.1 加工形状異常に代表される課題例
 3.2 新しい課題~プラズマ誘起ダメージ
 
4.プラズマ誘起ダメージについて
 4.1 3つのダメージ発生機構
 4.2 プラズマ誘起ダメージによる歩留まり低下とデバイス信頼性劣化
 4.3 イオン衝撃によるプラズマ誘起ダメージモデル
 4.4 デバイス劣化モデル
 4.5 3次元構造における新しいプラズマ誘起ダメージ機構
 
5.今後の展望~何がわかっていて、何がわからないのか?
 5.1 原子レベルでのプラズマ誘起ダメージの理解に向けて
 5.2 プラズマ誘起ダメージを制御(最適化?)する
 5.3 プラズマ誘起ダメージはどうなるのか?

 □質疑応答□

 

  

【ZoomによるLive配信】

・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信となります。

 PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。

・申込み受理の連絡メールに、視聴用URLに関する連絡事項を記載しております。

・事前に「Zoom」のインストール(または、ブラウザから参加)可能か、

 接続可能か等をご確認ください。

・セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。

・セミナー中、講師へのご質問が可能です。

 

<配布資料>

電子媒体(PDFデータ/印刷可)
・弊社HPのマイページよりダウンロードいただきます。
・開催2日前を目安に、ダウンロード可となります。
・ダウンロードには会員登録(無料)が必要となります。

  
 

━━━━━━━━━━━━◆キャンペーンについて◆━━━━━━━━━━━━━━━━━━

≪お申し込み方法≫

 お申し込みページ一番上の連絡事項欄に「2名同時申込み」希望の旨と、

 2人目の受講者様の情報(お名前・メールアドレスは必須)をご入力ください。

 住所等が申込者様と同一の場合は、省略いただいて結構です。

・2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。詳細は別途ご連絡いたします。

・同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。

・3名様以上でお申込みの場合、3人目以降は定価の半額で受講できます。

・受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。

・請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。ご希望の場合はお知らせください。

・他の割引は併用できません。

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○お申し込み後、サイエンス&テクノロジーより確認のご連絡を差し上げます。

○受講料は銀行振込、または当日会場にて現金でお支払いください。

○お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以前でのキャンセル: キャンセル料はいただきません

・開催3~6日前でのキャンセル: 受講料の70%

・開催当日~2日前でのキャンセル・欠席: 受講料の100%

※受講料入金後での7日前以前のキャンセルについて、返金の手続きが発生した場合の振込手数料はお客様負担とさせていただきます。

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※お申し込み詳細についてはQ&Aにも掲載しております。

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