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12/10【Live配信(リアルタイム配信)】 原子層堆積(ALD)法による 薄膜作製技術の基礎と応用・技術トレンド

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イベント名 【Live配信(リアルタイム配信)】 原子層堆積(ALD)法による 薄膜作製技術の基礎と応用・技術トレンド術の基礎と応用・技術トレンド
開催期間 2021年12月10日(金)
13:00~16:30
※会社・自宅にいながら受講可能です※
会場名 ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナー
会場の住所 東京都
お申し込み期限日 2021年12月09日(木)16時
お申し込み受付人数 30  名様
お申し込み

【Live配信(リアルタイム配信)】
原子層堆積(ALD)法による
薄膜作製技術の基礎と応用・技術トレンド

 

~原理・優位性・材料・成膜条件・注意点・新技術・展望など~

 

原子層堆積(ALD)法の原理・特徴・装置といった基礎から、
薄膜の特性評価、用いられる材料群、成膜条件・注意点、
エネルギーデバイス作製や各種材料の表面改質への応用、
新しい成膜材料やプラズマ技術を用いた成膜等の最近のALD技術まで!
ALD技術を活用するための基礎と応用・トレンドについて詳しく解説します。 

 

講師

 

北海道大学 電子科学研究所 教授 松尾 保孝 氏
専門:ナノテクノロジー

 

 受講料(税込)

 

 44,000円( E-Mail案内登録価格 41,800円 )※資料付

   定価:本体40,000円+税4,000円
   E-Mail案内登録価格:本体38,000円+税3,800円

キャンペーン!2名同時申込みで1名分無料(1名あたり定価半額の22,000円)

  

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:受講料( 定価 35,200円/E-Mail案内登録価格 33,440円 )

 定価:本体32,000円+税3,200円
 E-Mail案内登録価格:本体30,400円+税3,040円
1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
※他の割引は併用できません。

 

 趣旨

 

  原子層堆積(ALD)法はその名前の通りに、原子1層レベルの厚みで膜厚を制御しながら薄膜を作製する技術として注目されています。一方で、どういった材料が成膜可能か、どのようなデバイスへの成膜が可能かを理解するためにはその原理を理解しておくことが重要です。
 本セミナーでは原子層堆積法の基本的な原理、どのような装置で実現可能かといった技術的を説明すると共に、一般的に用いられる真空蒸着等の薄膜形成技術との異なる部分にも注目し、技術の有効性について説明を行います。また、エネルギーデバイスへの応用やソフトマテリアルなどへの適用などのアプリケーションに関する説明、新しい成膜材料やプラズマ技術を用いた成膜等の最近のALD技術のトレンドを紹介いたします。

 

 プログラム

 

<得られる知識・技術>

ALD技術の基礎、ALD技術を用いた応用例、薄膜作製技術、ALD装置

 

<対象>

原子層堆積法の導入を検討されている方。
原子層堆積法について興味のある方であれば、初心者でも受講可能。

 

<講演内容>

1.原子層堆積(ALD)とは
 1.1 微細加工技術で用いられる様々な薄膜作製技術.
 1.2 原子層堆積法の歴史
 1.3 原子層堆積法の原理と特徴
 1.4 原子層堆積法を実現する装置
 1.5 原子層堆積法で得られる薄膜と特性評価
 1.6 原子層堆積法で用いられる材料群
 1.7 成膜する場合の条件、注意点
 
 
2.原子層堆積法の応用と展望
 2.1 エネルギーデバイス作製への応用
 2.2 各種材料の表面改質への応用
 2.3 新しい技術と今後の展望

 □質疑応答□

 

【ZoomによるLive配信】

・本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信となります。

 PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。

・申込み受理の連絡メールに、視聴用URLに関する連絡事項を記載しております。

・事前に「Zoom」のインストール(または、ブラウザから参加)可能か、

 接続可能か等をご確認ください。

・セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。

・セミナー中、講師へのご質問が可能です。 

 

<配布資料>

電子媒体(PDFデータ/印刷可)
・弊社HPのマイページよりダウンロードいただきます。
・開催2日前を目安に、ダウンロード可となります。
・ダウンロードには会員登録(無料)が必要となります。   

 

━━━━━━━━━━━━◆キャンペーンについて◆━━━━━━━━━━━━━━━━━━

≪お申し込み方法≫

 お申し込みページ一番上の連絡事項欄に「2名同時申込み」希望の旨と、

 2人目の受講者様の情報(お名前・メールアドレスは必須)をご入力ください。

 住所等が申込者様と同一の場合は、省略いただいて結構です。

・2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。詳細は別途ご連絡いたします。

・同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。

・3名様以上でお申込みの場合、3人目以降は定価の半額で受講できます。

・受講券、請求書(PDFデータ)は、代表者にE-mailで送信いたします。

・請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。ご希望の場合はお知らせください。

・他の割引は併用できません。

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○お申し込み後、サイエンス&テクノロジーより確認のご連絡を差し上げます。

○受講料は、銀行振込(原則として開催日まで)にてお願いします。

会場受講の場合に限り、当日に現金、またはカードでのお支払いが可能です。
会場でクレジットカード支払いの場合は、通信欄に「会場でカード支払い」をご入力下さい。

○お申込み後、ご都合が悪くなった場合は代理の方のご出席も可能です。

やむなくキャンセルされる場合は、下記のキャンセル規定で承ります。

◇キャンセル規定◇

開催日から逆算(営業日:土日・祝祭日等を除く)いたしまして、

・開催7日前以前でのキャンセル: キャンセル料はいただきません

・開催3~6日前でのキャンセル: 受講料の70%

・開催当日~2日前でのキャンセル・欠席: 受講料の100%

※受講料入金後での7日前以前のキャンセルについて、返金の手続きが発生した場合の振込手数料はお客様負担とさせていただきます。

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※お申し込み詳細についてはQ&Aにも掲載しております。

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