Thermo Scientific UltraDry EDS 検出器

金属をはじめとする無機化合物の分析では、主に走査電子顕微鏡（SEM）で観察し、EDSを用いて含有されている元素を特定します。Thermo Scientific™ UltraDry EDS 検出器を使用することで、金属、先端材料、および半導体などの産業において、より迅速でより正確な X 線による解釈が得られます。この検出器は、Thermo Scientific Pathfinder™ X 線マイクロアナリシスシステムとともに使用することで、非常に高い収率で卓越した分解能を発揮します。

Thermo Scientific UltraDry EDS 検出器

■Thermo Scientific UltraDry EDS 検出器の特長

•   先進の一体型電界効果トランジスタ（FET）と 特許取得済みのプリアンプステージにより優れた性能を実現する驚異的な操作スペース
• 実質的に電子ノイズを除去するためのより小型化された一体型 FET（電界効果トランジスタ）
• パルスパイプアップ（パルスの積み重なり）とサムピークを効果的に取り扱うための最小のデッドタイムと最大の分可能
• 極めて高いデータ収集速度を維持しながら、外部からの冷却や液体窒素による冷却は不要
• ユニークなコリメーター設計による、EDS と EBSD の収集において非常に重要な、幅広い距離にわたる正しいデータ収集速度
• 結晶活性領域（10 mm2、30 mm2、60mm2、100mm2）による、今日市場に出ている検出器の中で最大級の収集立体角
• 電子顕微鏡で 5.89keV（Mn-Kα）、10,000 カウント/秒で測定され（ISO 15632）、スペクトルに保存される FWHM
• WD 範囲は、ポールピースとサンプル表面の間の垂直距離を変化させることによって、インプットカウントを計測することによって測定されます。STD（サンプルまでの距離）は 50 mm、取出角 35°。この範囲は、最適化された WD におけるピークカウントレートの 25％以内として定義
• 最大の WD 範囲を可能にする垂直方向のスロットタイプコリメーター。EDS／EBSD 収集モードに絶対不可欠
• B（ホウ素）までの軽元素に対する感度
• 冷却水やファンなどの補助冷却は不要。液体窒素は不要
• 動作温度は 35 °C まで
• アナライザーの時定数で最小のカウントレートから最大のカウントレートまで、分解能の変化は ±5 eV（1％から 60％のデッドタイムで通常 ±3 eV）
• アナライザーの時定数で最小のカウントレートから最大のカウントレートまで、ピークシフトは ±5 eV（1％から 60％のデッドタイムで通常 ±3 eV）
• インプットレートは 1,000,000 カウント/秒
• オプションで電動スライド機能を使用可能

検出器仕様早見表

Pathfinder X 線マイクロアナリシスシステムによる、多様な分析メソッド例

点分析　　　　　　　　　　  線分析　 　 　　　　　　　　面分析

主成分解析（COMPASS)

COMPASS（多変量解析ソフトウェア）を用いたEDS分析に関する動画

■電子顕微鏡用検出器に関するお問い合わせ

当社はEDSをはじめとする電子顕微鏡各種検出器のアプリケーションに関してさまざまなノウハウを保有しております。電子顕微鏡検出器の導入を検討されている方はお気軽にお問い合わせください。