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Thermo Scientific WDS MagnaRay 検出器

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電子顕微鏡用検出器  /  鉄/非鉄金属 電子・半導体 試験・分析・測定

 

 Thermo ScientificTM WDS MagnaRay 検出器を使用することで、電子顕微鏡での元素分析、自動インテリジェントアライメント、およびパラメーター設定が比類ない速度と高い信頼性で実現できます。これにより、EDS システムのように簡単に使用できる高分解能微量分析が可能になります。この検出器は、Thermo Scientific Pathfinder X 線マイクロアナリシスシステムと共に使用することで、非常に高い収率で卓越した分解能を発揮します。

 内蔵されたエキスパートシステムにより、アライメント、分析設定、および収集が自動的に処理されます。データを EDS 結果と組み合わせることで、真の統合された EDS/WDS システムを実現します。

 

 

Thermo Scientific WDS MagnaRay 検出器

 

 

WDS MagnaRay 検出器は Thermo Scientific 電子顕微鏡用X線微量分析ソフトウェア「Thermo Scientific Pathfinder™」と完全に統合されており、EDS検出器によるデータ収集中に、自動的に分析対象の元素が判断され、すべてのWDS操作が実行されます。分光器の設定および操作の詳細は、内蔵されたエキスパートシステムにより、自動的に実行されます。ピークの重なり、微量元素解析あるいは、正確な定量分析が必要な場合、WDS MagnaRay検出器は簡単に素早く分析を実行します

 

                                

Thermo Scientific WDS MagnaRay検出器の特長

 

EDS のような使いやすさで WDS の正確性と信頼性

  • 光学アライメントを完全自動化
  • 封じ切り型キセノンガス比例計数管を採用
  • 迅速で正確な検出器・回折格子の制御
  • EDSのソフトウェアと完全インテグレート
  • EDS/WDSフルオート定性分析機能
  • 高分離能
  • 微量元素に対する高感度
  • 全スペクトル範囲を網羅する連続検出

スピードと精度

  • 回折格子とカウンターの両方をダイレクトに駆動させる機構により、WDS MagnaRay 検出器はわずか0.25 秒で分析元素の切り替えが可能(従来の WDS 分光器がまだ最初の元素の分析をしている間に、WDS MagnaRay 検出器は複数元素を素早く分析)
  • ダイレクトドライブシステムに連結されているエンコーダーによって、WDSピーク位置がいつも正しい位置に保たれるように、角度誤差 0.001 度の精度を保証

SEM および低電圧の用途

高感度、軽元素の検出、重なるピーク、高いP/B比、または高い空間解像度が極めて重要な用途に最適

  • WDS の X 線オプティクスが、EDS検出器と同様に SEMチャンバーに挿入される
  • 低い照射電流と低加速電圧の操作条件下において高レベルの分析を提供

感度

  • WDS は、サンプルから放出され発散していくX線を、平行光に変換するX線焦点オプティクスを搭載しており、平行光に変換されたX線は、回折格子を用いてブラッグ回折される
  • ポリキャピラリーとグレージング入射方式を組み合わせた特許取得済みのハイブリッドX線焦点オプティクスを使用することで、低エネルギーから高エネルギーまでのX線カウントレートを取得
  • ハイブリッドX線焦点オプティクスは、単一で低エネルギーの封じ切り型のキセノンガスのプロポーショナルカウンターを採用。旧式のガス流量比例係数管のタイプと比較して、設計と操作が簡便に、そしてすべての元素に対してスループットが向上

ナノスケール分析
ナノスケールの微粒子や薄膜のようなX線の発生領域の少ないサンプルに最適

  • P/B 比と最高レベルのX線収集速度による微量元素分析を実行
  • 最近のナノスケールの材料分析に要求される、非常に厳しい条件で動作し、SEMの操作条件に合わせたWDS分析を可能に
  • 従来の高エネルギー、高電流のWDS分析で広く発生していたサンプルチャージおよびサンプルダメージの問題を解決
  • 従来の高い加速電圧や高い照射電流による悪影響を排除

定性分析

  • EDS においてピークの重なりが発生したときに、WDS は EDS をサポートしサンプルの定性分析を実施
  • WDSは、EDS において分析が困難な Mo、S、Pb、あるいは、Si、Ta、W のような元素が含まれるかどうかの結果を、EDS の収集中に自動で測定

定量分析

  • 内蔵されたエキスパートシステムを使用して、サンプルの位置、照射電流、および分光器の条件設定に関する問題を解消
  • 光学アライメントを自動的に実施
  • 自動化された照射電流測定により、正確な定量的結果を提供

WDSによる定量分析(ビデオ)

 

 

 

X 線マップとラインスキャン

 

  • 低濃度材料に対して、高いコントラストの X 線マップおよびラインスキャンを実施
  • WDS マップおよびラインスキャンを容易に収集

 

 

電子顕微鏡用検出器に関するお問い合わせ

 

当社はWDSやEDSをはじめとする電子顕微鏡各種検出器のアプリケーションに関してさまざまなノウハウを保有しております。電子顕微鏡検出器の導入を検討されている方はお気軽にお問い合わせください。

 

 

 

 

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