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製品・技術

FIB加工特集

FIB加工 / 2018年09月11日 /

FIB加工特集

FIB（集束イオンビーム）加工特集

製品・加工エリアが小さ過ぎて諦めた事はありませんか？
本機は電子顕微鏡を使って、目に見えない細かな加工が出来ます！！
穴（孔）・溝・スリットなどなど、これはという加工を、“ナノオーダー”で対応します！！！

など、当社加工技術を駆使し、お客様に最適な加工をご提案いたします。

集束イオンビーム（FIB）加工は、集束させたイオンビームを加工したいワークに照射し、ワーク材料の表面の原子を弾き飛ばすことで加工する加工法です。

ビームは数十ナノメートルと細く照射範囲も小さいことから、数ミクロンからナノオーダーの加工を高精度・高品位に実現でき、ナノオーダーの加工技術の幅がさらに広がりました。当社加工技術を駆使し、お客様に最適な加工をご提案いたします。

φ0.5µm 多孔加工
SUS304（ステンレス）
厚み0.2μm

φ0.3µm 微細穴加工
SUS304（ステンレス）
厚み1.0μm

微細加工
単結晶Si（シリコン）

カーボン
コイル直径：
約φ100nm（φ0.1μm）
コイル全体寸法：
3.5μm×1.0μm

φ10μmの穴の内壁面の仕上加工（別方法にて下穴をあけた後、FIBで内壁を仕上加工）
タンタル厚み0.1μｍ

スリット加工
ZrO2（ジルコニア）
微小工具の先端に、約20μm幅のスリット加工

切削+FIB加工にて、先端経φ1μm以下のニードルを加工
NIPメッキ層を加工

角孔メッシュ加工
（50μm、柱幅5μm）
Au厚み20μｍ

丸孔メッシュ加工
（φ0.5μm、柱幅5μm）
Pt 箔厚み1μｍ

	FIB加工による超微細孔多孔プレート FIB加工による超微細孔狭ピッチ多孔プレートを作成。最小サイズ：φ1μm　ピッチ1.5μm可能実績：φ1μm　ピッチ：5μm 100孔✕100孔＝10,000孔
	光学系絞り部品（アパーチャー・オリフィス）電子ビームやイオンビームの絞りとして使用されるアパーチャーについて、良好な精度で滑らかに孔を仕上げ、高品位な製品を提供。
	検査機校正用微小異物サンプル当社の微細加工技術で、μmオーダーの異物サンプルも、校正用の標準サンプルも、ご所望の形状で製作可能。
	リークテスト用ピンホール、スリット作製当社が得意とする超微細・高精度加工で、これまでは簡単に入手できなかったピンホールやスリットをご提供。
	スリット鏡作製太陽観測ロケットCLASP2の紫外線観測用光学部品「スリット鏡」に東レ・プレシジョンの製作品が採用。
	物理解析手段のFIB断面加工の受託サービス大面積・高速加工、SIM像による明瞭な組織構造など、当社のFIBの特徴を活かしたデータ作製を請け負います。高精度ステージによる精度の高い3D再構築（トモグラフ）データをご提供します。

FIB加工の最新トピックスや、
適用事例、弊社保有の精密加工技術をご紹介します。

「FIB加工」についてお気軽にお問い合わせください。
ご希望される寸法サイズ、公差、形状、品質条件や、ご検討されている背景もお知らせいただけるとスムーズなご回答が可能です。

超精密微細加工のご紹介

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	FIB加工による超微細孔多孔プレート FIB加工による超微細孔狭ピッチ多孔プレートを作成。最小サイズ：φ1μm　ピッチ1.5μm可能実績：φ1μm　ピッチ：5μm 100孔✕100孔＝10,000孔
	光学系絞り部品（アパーチャー・オリフィス）電子ビームやイオンビームの絞りとして使用されるアパーチャーについて、良好な精度で滑らかに孔を仕上げ、高品位な製品を提供。
	検査機校正用微小異物サンプル当社の微細加工技術で、μmオーダーの異物サンプルも、校正用の標準サンプルも、ご所望の形状で製作可能。
	リークテスト用ピンホール、スリット作製当社が得意とする超微細・高精度加工で、これまでは簡単に入手できなかったピンホールやスリットをご提供。
	スリット鏡作製太陽観測ロケットCLASP2の紫外線観測用光学部品「スリット鏡」に東レ・プレシジョンの製作品が採用。
	物理解析手段のFIB断面加工の受託サービス大面積・高速加工、SIM像による明瞭な組織構造など、当社のFIBの特徴を活かしたデータ作製を請け負います。高精度ステージによる精度の高い3D再構築（トモグラフ）データをご提供します。