超精密微細溝加工 マイクロレンズアレイの紹介

超精密微細溝で加工したマイクロレンズアレイのご紹介

反射板、回折格子のようなわずかな反射・分光用パーツ/金型が欲しい

検査機器やディスプレイなど光のコントロールを必要とする機器は、反射板や回折格子、分光用パーツが必須です。
さらに光はナノレベルのため制御するには非常に高い精度を要します。

東レ・プレシジョンで製作する反射板・回折格子・分光用パーツは、ナノオーダーの微細な溝加工を実現し、光学設計者への手助けとなるよう設計・製作を行っています。
マイクロレンズアレイのようなディンプル加工も対応可能です。

特長

• 大型サイズ対応可能
• 角溝、半円溝、格子溝、台形溝、ディンプル等、多様な溝形状に対応
• 数μmの狭ピッチ加工実績有り
• 溝、稜線共に1μm以下のシャープ形状を実現
• 60インチサイズ（1500mm×900mm）の加工が可能です。
  ピッチ50μmでピッチ精度1μm以下が可能です。
  溝、稜線共に1μm以下のシャープ形状を実現します。

■用途

• 光学部品（マイクロレンズアレイ、アパーチャー他）

製品加工例

最大加工サイズ

：～60インチ（1500×900mm）

ピッチ

：数um～

ピッチ精度

：1um

技術資料

精密加工技術の最新トピックスや、
適用事例、弊社保有の小孔加工技術をご紹介します。

お問い合わせ

「超精密微細孔加工」についてお気軽にお問い合わせください。
ご希望される寸法サイズ、公差、形状、品質条件や、ご検討されている背景もお知らせいただけるとスムーズなご回答が可能です。