製品・技術
メタライズ加工品
セラミックを用いたハイグレードカスタマイズ組立品です。お客様仕様に合わせたオンリーワンの製品製作が可能です。
接合品/組立品は以下の技術を用いて製造を実現。全てワンストップで行っております。
Mo-Mnメタライズ法
メタライズとは、セラミックスの表面に金属を成長させる技術です。
これは、ろう材のぬれ性を良くしたり、電気回路を形成する事を目的としています。
高耐熱被膜 | 耐熱温度 1100℃以上(金ろう付可能) |
低ガス放出 | 高真空用途 |
高被膜接着強度 | アルミナセラミック強度の50~70%(社内データ) |
ろう付(Ag,Au)
Mo-Mnメタライズを施したアルミナセラミックの表面に、ろう材を流すことでセラミックス×金属の接合が可能です。
特徴
- 低ガス放出
- 高温ろう付による高接合強度
- 極高真空にも対応する気密度:
1.0×10-11Pa・m3/s以下を保証 - 高温での高絶縁・形状安定性を確保
実績
- コパールをメインとし、Mo、Cu-W、Cu、Ni、インバー等の接合が可能
※セラミックとの線膨張係数の関係から、相性の良いコパールとの接合を推奨しております
※その他金属に関しましてもお気軽にご相談下さい
溶接(TIG)
金属とろう付した製品とSUSフランジとの溶接が社内で可能です。
特徴
- カスタマイズフィードスルーを自社で一貫製作可能
- 社内対応による材料および品質不良リスクの低減
- 気密性に優れた安心の設計提案
セラミックス加工品
当社は自社材の高純度アルミナで加工品を製作しております。
製作した加工品は、絶縁・耐熱・耐摩耗等の目的で使用されており、高品質の評価を得ております。
※他材質(SiC、AlN、ZrO3、Si3N4、快削性セラミックなど)の取り扱いについては要相談
アルミナセラミック加工能力
工程 | 項目 | 能力 |
加工サイズ (mm) |
外径 | φ=140 max |
長さ | 約250以内 | |
内径加工長さ | 50以内(研磨加工) | |
研磨加工精度 | 径 | ±0.02(スタンダード) ±0.0025(プレミアム) |
厚さ | ±0.02(スタンダード) ±0.005(プレミアム) | |
内径加工 | ±0.01 | |
表面仕上 | 表面粗さ | Ra=0.8a~1.6a ※研磨仕上 |
Ra=1.0a ※内径仕上(プレミアム)、別途ご相談 |
||
Ra=0.8a以下 ※鏡面仕上(プレミアム)、別途ご相談 |
※上記以上のサイズ・精度を必要とされる場合は別途ご相談ください
※上記材料以外のセラミックも取り扱い可能なためご相談ください
加工実績紹介
- 原料調合・成形・焼成・切削・研削・研磨・穴あけ・切断加工等を行います
- 同時加工で加工を行う箇所の同軸度は2~5μmの範囲で加工可能
- 同時加工不可の場合は加工前の準備(設置精度)によって変わるため、20~30μm程度
- 穴位置精度:±3μm以内
- 壁厚さ:最薄0.1mm(セラミック厚さ 2mm)
素材特性表
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