液晶製造装置部材への溶射加工

溶射とは・・・

燃焼ガスやアーク、プラズマなどの熱源を用いて、コーティングしたい材料を溶融させ吹き付ける表面改質処理のひとつです。

溶射のメリットとしては以下の通りです。

(1) 大きさに制限がない：大型構造物にも施工できます

(2) めっきなどといった皮膜と比べ、厚膜を形成できます

(3) 母材への熱影響が少ない

プラズマ溶射ができること

 プラズマ溶射は、熱源が高温のプラズマなので、融点の高いセラミックを溶融して皮膜にすることができます。

プラズマ溶射によって形成されたセラミック溶射皮膜は一般的に、硬い・腐食しにくい・絶縁性がある・熱に強い、といった特徴があります。

半導体製造装置への適用

半導体製造装置の部材には、腐食ガス雰囲気やプラズマエロージョンといった厳しい環境に晒されるものがあります。

これらの部材表面に、セラミック溶射皮膜を形成することで耐性を付与することができます。

プラズマ溶射皮膜を形成することで、部材寿命を延長することや、交換の手間を減らすことができます。

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姫路メタリコン株式会社では、ねじ1個の小物からトン単位の重量物、橋梁などのインフラ設備、プラント設備まで、幅広い分野において表面処理を手掛けています。