ESチャックの事例

+17℃でワークを凍結固定するチャッキングシステム
ESチャック

ESチャックを使用した事例

揮発性の低温凝固剤なので洗浄不良ナシ！

小径穴部品では、穴に入ったワックスが取りきれず、不良品になってしまうという問題がありましたが、ESチャックの低温凝固剤は揮発性があるため、洗浄不良がなくなりました。

セラミック小径穴部品

材質 ： 黒ジルコニア 形状 ： パイプ形状ツバ付き 穴径 ： φ20μm 工作機械 ： 円筒研削盤

凝固剤が膜厚１μm程度のため傾きが出ない！

ワックス接着では傾きが出て割れてしまい、加工が出来ても接着が外せないという問題がありましたが、ESチャックの低温凝固剤は膜厚１μm程度のため傾きも出ない上、加熱で簡単に剥離します。

セラミックウエハー

材質 ： PZT サイズ ： φ50mm× t3.0mm 反り ： 0.01mm 工作機械 ： 平面研削盤

ワックスの洗剤による不良がなくなりました！

ワックスの洗剤不良により、実に２割に不良が発生していましたが、ESチャックの低温凝固剤は揮発性があるため、洗剤による不良がなくなりました。

ポーラス状セラミック

材質 ： 多孔質SiC サイズ ： □１00mm×t5.0mm 工作機械 ： 平面研削盤→スライサー 加工後 ： ４0mm×5mm×t３.0mm

ワークに歪みを与えず固定可能！

マグネットチャックを使用するとワークが矯正されてしまい、精度が出なかったところ、ESチャックならば歪みを与えず固定ができるので、目標公差を達成することができました。

歯車	材質 ： SCM415浸炭焼入 サイズ ： 外形φ120mm×内径φ96mm×t8.3mm 反り ： 0.1mm〜0.13mm 工作機械 ： 平面研削盤 目標 ： t8.0mm 並行度10μm 平面度5μm

マグネットにつかない材質もESチャックで固定！

材質の関係でマグネットチャックが使えず、ワックスでは傾きが発生してしまうため精度が出ない。しかし、ESチャックは歪みを与えず固定が出来るため、目標寸法を達成できました。

超硬カッター

材　質 ： 超硬 サイズ ： 160mm×27mm×t0.6mm 平面度 ： 0.04mm 工作機械 ： 平面研削盤 目標寸法 ： t0.1mm

ワークに歪みを与えず固定可能！

マグネットチャックを使用するとワークが矯正されてしまい、精度が出なかったところ、ESチャックならば歪みを与えず固定ができるので、目標公差を達成することができました。

機械部品	材質 ： S45C（レーザー加工→焼鈍処理） サイズ ： 345mm×190mm×t9.0mm 工作機械 ： 平面研削盤 目標公差 ： 平面度20μm

クランプによるワークの矯正を避けられる！

メカクランプによりワークが矯正されてしまい、精度が出なかったところ、ESチャックならば歪みを与えず固定ができるので、目標公差を達成することができました。

設備部品	材質 ： SUS303 引き抜材 反り ： 0.1mm〜0.2mm （ねじれている） サイズ ： 407mm×18mm×t7.0mm 工作機械 ： マシニングセンター 公差 ： ±20μm

加工箇所が多くクランプできない部品も固定可能！

上面全面と側面と、部品の加工箇所が多くクランプする場所が無かったのですが、埋め込みの治具を作成しESチャックでの凍結固定を行いました。メカによるクランプをしていないため、必要な箇所すべてに加工を施すことができました。

機械部品	材質 ： アルミダイカスト サイズ ： 350mm×120mm×t10.0mm 工作機械 ： マシニングセンター 公差 ： ±20μm

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