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半導体・液晶関連の製造過程で排出されるVOCの回収・リサイクル

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創業以来半世紀以上にわたり、環境問題の解決に取り組んでいる月島環境エンジニアリング株式会社では、国内外トップクラスのシェアを持つ液中燃焼方式による廃液燃焼装置、塩酸回収装置、フロン類破壊装置を製造をしております。
こちらでは、PSA型溶剤回収装置をご紹介いたします。

特長

PSA式溶剤回収装置は、明治大学と共同で開発。吸着と脱着時の系内圧力を変更することで、吸着/脱着を行う圧力スイング吸着装置です。

従来のPSA方式はガス中のVOCが高濃度でないと、吸着効率を上げられなかったのですが、Dual Reflux PSA(二元還流型圧力スイング吸着)の原理を利用した当社のPSA式溶剤回収装置は、回収した溶剤がベントとして逃げていく分を有効利用。吸着剤を低減できるので、装置の小型化が期待できます。大きな濃縮装置も不要です。

  • 希薄VOCからの処理が可能です(数百ppm~)
  • 溶剤の再生に熱を利用しないため、回収溶剤の熱分解が起こりません。よって、Cl系有機物が含有していても対応可能です。
  • 蒸気を必要としないので、省ランニングコスト。
  • 吸着剤自身が不燃性であり、発火の心配はありません。
  • 回収した溶剤のリサイクルが可能です。

用途

トルエン、キシレン、塩化メチレン、酢酸エチル、エチルベンゼン、フッ素系溶剤などの回収

プロセスフロー

常圧から0.5MPaGの圧力条件下で原ガスは吸着層に導入されて吸着され、原ガスは清浄な空気として排気されます。吸着が進むと吸着能力を失いますので、圧力を2.7~27kPa(20~200Torr)に減圧することにより、溶剤分を脱着させます。溶剤は冷却凝縮後そのまま液体となって回収されます。

仕様

実証試験装置

吸着槽
200mmΦ×2塔式
充填高
1,500~2,000mm(槽高変更可能)
4,200mmW~2,000mmD
処理風量
10~40Nm³/h
必要なユーティリティ
  • 冷却水(真空ポンプ用)
  • 窒素(パージ、置換用)
  • チラー水(溶剤冷却凝縮用)
  • 計装空気(バルブ切替用)
  • 電源 AC200V 3相 1本のみ
    ( • 水素(分析計用))

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