ディスプレイ開発現場で培った高度な分析技術で、お客様の課題を解決いたします。
製品・技術
薄膜・積層膜などの深さ方向の元素分析に！
ドーパントの深さ方向濃度プロファイルや、不純物評価、薄膜(表面・膜中・界面)に存在する不純物の深さ方向濃度分布測定に最適な分析法です。
日立アーバンサポートのSIMS分析の特徴 |
- 数10μm領域からppmオーダーの高感度分析
- μmオーダーからnmの範囲の深さ方向の分析が可能
- 周期律表全ての元素分析が可能
- 標準試料を用いた定量分析が可能
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保有設備 |
汎用セクター磁場型SIMS装置 IMS-7F
| メーカー | カメカインスツルメンツ |
| 型式 | IMS-7F |
水素をはじめとする軽元素にも対応し、周期律表の全ての元素の分析ができる汎用セクター磁場型SIMS装置で、マトリックス元素から極微量（ppb）まで分析可能です。
IMS-7F
汎用セクター磁場型SIMS装置
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分析事例 |
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各種材料の表面・界面の形態、化学組成、構造など、表面分析なら 日立アーバンサポートまで、お気軽にご相談ください。 |
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- SIMS分析で、材料の表面を数10μm領域からppmオーダーで分析 (2015年11月13日)
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