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SIMS分析で、材料の表面を数10μm領域からppmオーダーで分析
薄膜・積層膜などの深さ方向の元素分析に！ ドーパントの深さ方向濃度プロファイルや、不純物評価、薄膜(表面・膜中・界面)に存在する不純物の深さ方向濃度分布測定に最適な分析法です。 日立アーバンサポートのSIM… -
TOF‒SIMSを駆使して、従来は不可能だった質量数の大きな分子イオンもppm/ppbレベルで検出可能
試料最表面の無機物・有機物の成分分析に最適！ 表面汚染、残渣、転写物の確認をはじめ、様々な異常原因 (シミ、ムラ、ハジキ)の調査に、試料最表面の無機・有機物の特定を行います。従来は不可能だった質量数の大き…
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- SIMS分析で、材料の表面を数10μm領域からppmオーダーで分析 (2015年11月13日)
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