三次元座標測定

機械製品の評価において基本ともいえる精密寸法測定で、最も汎用性が高く、多くの測定・評価に使われているのが、三次元座標測定機です。
KISTECでは、2機種の三次元座標測定機を使用して測定を行っています。

接触式三次元座標測定機（ZEISS UPMC850/1200 CARAT）

1機種目は、接触式三次元座標測定機（ZEISS UPMC850/1200 CARAT）で、大きな試料を高精度に測定することができます。

この測定機は、測定空間内を3軸で自由に移動できる接触子を試料に接触させ、その際の接触子の三次元座標データを取り込み、コンピュータ上に設定した三次元空間に試料の形状を再現します。これにより、任意の位置の任意の形状（面、軸、穴など）を基準として、必要な箇所の寸法測定を迅速かつ効率的に行うことができます。

マルチセンサ式三次元座標測定機（ZEISS O-INSPECT442）

2機種目は、マルチセンサ式三次元座標測定機（ZEISS O-INSPECT442）で、接触式センサ、カメラセンサ、非接触式高さセンサの3種類のセンサで測定を行います。

通常の接触式三次元座標測定機としても使用できますが、カメラセンサで水平方向の位置を、非接触式高さセンサで垂直方向の位置を非接触で測定することが可能です。接触式では測定が難しい微細形状、薄物、ゴム製品、電子基板、印刷物の精密測定が可能です。

対象物

設備紹介

■接触式三次元座標測定機

型式

UPMC850/1200 CARAT

性能

測定範囲：X = 850mm, Y = 1200mm, Z = 600mm

測定精度：0.8 + L/600 μm　L=測定長さ（単位：mm）

接触式三次元座標測定機

■マルチセンサ式三次元座標測定機

型式

O-INSPECT 442

性能

測定範囲

：X = 400mm, Y = 400mm, Z = 200mm

測定精度

：接触式センサ（3D）1.9 + L/250 μm
カメラセンサ（2D）1.7 + L/250 μm
非接触式高さセンサ（1D）1.9 + L/250 μm

L=測定長さ（単位：mm）

マルチセンサ式三次元座標測定機

事例紹介

• 公差が指定された精密加工品の合否判定
• 装置の不具合原因究明のための部品形状検査
• 部品の取り付け位置の高精度調整のための検査
• CADデータや図面を作成するための採寸
• 複雑曲面部品の欠陥探索のための3D CADデータの比較測定
• 熱履歴のある試料の寸法変化量測定
• 加工機や加工方法による加工精度向上のための試験加工品測定