X線検査装置の性能限界、特性を高精度に評価する「校正用異物サンプル」製作［東レ・プレシジョン］

No.2473　2019年2月18日

●X線検査装置向けの微小な検査・校正用の異物サンプルを製作

X線検査装置の校正やテスト用の異物サンプルでお困りではありませんか？

東レ・プレシジョン株式会社様では、μmオーダーの異物サンプルも、検査機
の校正用の標準サンプルも、同社が強みとする微細加工技術で希望する形状
に製作できます。リチウムイオン電池のセパレータフィルムなどの製造工程
に用いる異物検査装置の性能評価用または装置校正用の標準異物のサンプル
にと製作依頼もあり、電池関係の非破壊検査に最適です。

近年、リチウムイオン電池などの異物検査は製品の安全性からも検査装置に
求められる性能保証が厳しくなっています。それだけに、同社の微細加工技
術に注目が集まっています。


■□――――――――― 【 ここにフォーカス 】 ―――――――――□■

数ミクロンからナノオーダーの加工に力を発揮。FIB(集束イオンビーム)加工
マスク製作からの代替えでコストダウンに

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■　要望に沿った形状に加工。SEM測定による寸法保証も
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μmオーダーの異物サンプルや校正用の標準サンプルは市販品がなく「欲し
いけど満足のいくものが入手できない」と困っているケースが多くあります。

同社の「FIB加工」は、非常に小さいワークでありながら、精度が非常に高
いため、検査機の性能限界や特性を評価するのに最適です。
また、標準スケールを用いたSEM観察で、寸法精度も保証。異物サンプルは
±1μm以下で精度保証します（φ50μm以下）。


■　精密加工技術による実例集プレゼント。「Medtec japan 2019」へ出展
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φ1ミクロン以下のナノオーダー孔から、精密微細な形状まであらゆるミク
ロの製品を高精度に加工する「FIB加工」。同社の他の微細加工と組み合わ
せることで、より鋭利な微細加工や高アスペクト比の孔加工など、新たな可
能性を広げることもできます。同社の精密加工技術による実例集「精密加工
技術ハンドブックvol4」をプレゼントしていますので、ぜひご覧になってく
ださい。

同社は3月18日(月)から東京ビッグサイトで開催される「Medtec japan 2019」
に出展。FIB加工をはじめとする同社の超精密微細加工技術を知る絶好の機会
です。ぜひ、足をお運びください。


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