イットリアの特長、加工事例

イットリア（Y₂O₃）はレアアース材料がベースのセラミックスであり、プラズマや腐食性ガスに対する耐食性に優れています。特にプラズマによる消耗量は石英の約100分の1、アルミナの約10分の1程であり、その耐食性は大変優れています。

半導体のパーティクル、不純物による汚染を低減できる為、不良率の軽減に貢献でき、半導体装置用の部品等に利用されています。

また、パーツの交換頻度を減らすことが可能です。化学的にも安定していますので、溶湯部品やセッター等にも利用されています。

西村陶業では高純度（99.9%以上）の原料を使用しており、吸水性0%の構造材用として製造しております。（市場には吸水性のある安価グレードもありますが、構造材としては使えません）

アルミナと同じく精密加工が可能であり、様々な形状加工のご要望にお応えできます。

大型リング・円板

成型、加工、焼成、研磨加工して、バルクのイットリア（Y₂O₃）セラミックスを製作しました。半導体製造装置で耐プラズマ部材として使われます。

高純度イットリアで大型リングを製作しました。
外径：φ320

キャップ・ガスノズル

成型、加工、焼成によりバルクのイットリア（Y₂O₃）セラミックスを製作しました。半導体製造装置で耐プラズマ部材として使われています。

高純度イットリアの耐プラズマ用キャップ

ねじ加工がされています。

高純度イットリアの耐プラズマ用ガスノズル

ねじ加工、斜め穴加工がされています。

半導体・液晶製造装置用/ソーラー用セラミック製品

半導体製造装置には、高剛性・加工精度・耐震性・耐熱性・熱伝導率・表面処理精度・メタルコンタミネーション・耐薬液性・耐ガス性・耐プラズマ性・絶縁性・誘電率・誘電正性・体積抵抗率・低発塵（パーティクル）・コスト等の諸特性が求められます。

西村陶業は上記の特性に対応出来るセラミックスとして高純度アルミナ（Al₂O₃ 99.7%以上、Al₂O₃ 99.9%以上）、窒化アルミ(ALN）、イットリア（Y₂0₃）を提唱します。
イットリアは耐プラズマ性に大変優れた素材です。

セラミックスのお悩みはお任せください

材料から選定から原料の混練を始め成形、焼成、加工、組み立て、検査と製品が完成するまでのトータルなセラミックスの製造を行います。
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