事例：半導体製造設備から排出される温室効果ガスの除害効果の計測

半導体製造工場では、フッ素系ガスを使用した低温プラズマが使用されていますが、これらのガスは温室効果ガスであり、環境への影響が懸念されています。

除害プロセスの効率を監視するために、半導体製造工場では、除害装置ごとにGHGの破壊効率を定期的に計測する必要があります。これには、複数のフッ素ガス種を同時にモニタリングする必要がありますが、従来のシステムでは複雑で高コストでした。

当ページでダウンロードできるアプリショーンノートでは、Thermo Scientific MAX-iR FT‐IRガスアナライザーとASC-10自動サンプリングコンソールを組み合わせた新しいシステムが、どのようにこの課題のソリューションとなるか、実例を交えながら紹介しています。