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非破壊検査向けの工業用X線検査システムおよびCTシステム
高精細ナノフォーカス透視・CT装置から高出力X線CT装置まで幅広いラインナップを取り揃え、お客様のご要望に合わせた最適なソリューションを提供。
製品・技術

CT検査システム『FF35 CT』

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半導体検査  /  電子・半導体 先端技術

『FF35 CT』は、幅広いアプリケーションで抜群の精度を
発揮するコンピュータ断層検査システムです。

 

X線管を1台または2台搭載したモデルを展開する当製品は、自動車、
エレクトロニクス、航空、材料工学などで製造される微細部品から
中程度のサイズの部品の検査に適しています。

 

超小型から中型部品の柔軟な検査が可能です。

 

コメット・エクスロンのFF35 CT、FF35 CT Metrology、FF35 CT SEMIは、非常に幅広いアプリケーションをカバーしています。研究開発部門における材料試験の改善、プロセス制御の最適化、小シリーズの検査、さらにさまざまな科学的用途に対応します。2種のX線管セットアップにより、高解像度CTシステムは、自動車、エレクトロニクス、航空、材料科学産業における品質保証と研究の可能性を大幅に拡大することができます。

製品概要 実績のある技術:225kVマイクロフォーカス指向性ビーム管

320Wの高出力と水冷式ターゲットにより、225kVのコメット・エクスロンの指向性ビーム管は、1分以内の迅速なCTスキャンを可能にします。2D動作では、空間分解能は4μmに達します。1回の検査シーケンスでマイクロフォーカス指向性ビーム管とナノフォーカス透過性ビーム管を切り替えることができるため、適用範囲が大幅に広がります。

最適なソリューション:190kVナノフォーカスのトランスミッション

10mm以下の部品サイズであれば、サブミクロン領域の解像度を持つ190kVナノフォーカスのトランスミッションが最適なソリューションとなります。あらゆる試料の高解像度検査が可能になります。水冷式チューブヘッドにより、迅速な温度バランスと最高の焦点位置の安定性を実現し、4つのモードにより、パワーに応じた焦点位置の最適な調整が可能です。また、2つの管球はそれぞれジェネレーターとHVケーブルを備えているため、再構成の必要なく切り替えが可能です。

自由度の高い多彩な軌跡

グラフィックシンボルと豊富な自動化機能により、直感的なユーザーインターフェースGeminyは、オペレーターのスキルに左右されない簡単な操作を可能にします。また、HeliExtend(ヘリカルCTスキャン・再構成法)などのCT軌道、水平視野拡張、仮想回転軸、Quick/QualityScanなど、パーツサイズや検査タスクに柔軟に対応できる機能を数多く備えています。


特徴 ・1種のX線管または2種のX線管構成で、ラボ用マイクロCTアプリケーションに最高の汎用性を提供
・225kVマイクロフォーカス管と190kVナノフォーカス管をボタン1つで数秒以内に切り替え可能
・花崗岩を用いた操作と空調による正確な結果
・ソフトウェアプラットフォームGeminyによる様々なCT軌道とFoV拡張によるアプリケーションの柔軟性
・MPESD = 5.9 µm + L/75 [L in mm]のオプションの計測バージョン
・半導体市場規格に準拠したFF35 CT SEMIバージョンあり
・NEW!最大サンプル重量が50kgまでに更新されました。
製品名・型番等
シリーズ名
CT検査システム『YXLON FF35 CT』
メンテナンス体制 弊社では、お客様への要件を第一に製品の製造とサービスを行っております。
製品ご採用後も出来るだけ長く、安心してご使用頂けるよう、修理対応はもちろん、
お客様と各システムのニーズに応じて、定期メンテナンスや保守サービスをご提供致します。