地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)が所有する試験設備をご紹介します。
測定機器
機器名 / メーカー・型式 | 概要 |
走査型X線光電子分光分析装置(μ-XPS・μ-ESCA) アルバック・ファイ |
試料表面の極薄い層(数nm)の元素分析(水素、ヘリウム以外)、半定量分析(検出限界値~0.1at%程度)および化学結合状態分析ができます。 |
フーリエ変換赤外分光光度計 日本分光 |
フーリエ変換赤外分光光度計は樹脂やゴム、油、接着剤などの有機化合物の構造を解析する分析装置の一つで、異物混入や構造部材の材質違いなど製品トラブルの初期段階で目星をつけるために利用されます。 |
微小部蛍光X線分光装置(XRF) SIIナノテクノロジー |
蛍光X線(XRF)分析装置は、試料にX線を照射し発生する蛍光X線を測定することで元素の確認(定性)や、検出された各元素のピーク強度を理論計算(FP法)することで大まかな含有量(半定量)を得ることができる装置です。 |
金属顕微鏡 オリンパス |
光を上から照射して、その反射光線の反射程度により表面状態を調べる顕微鏡です。主として金属材料の研磨面を観察します。 |
デジタルマイクロスコープ キーエンス |
実体顕微鏡と金属顕微鏡の機能を一台に集約し計測機能も装備した光学顕微鏡。 |
マイクロフォーカスX線検査装置(μF-X線) メディエックステック |
物質によるX線の透過率の差を利用して、微小な部品、BGA、CSP、デバイスなどの内部に存在する亀裂や欠陥を非破壊で観察することができます。 |
硬さ試験機 |
金属材料やセラミックスの機械的特性である硬さを測定します。 |
温湿度環境試験機
機器名 | メーカー 型式 |
温湿度範囲 | 試験室内寸法 W×H×D(mm) |
恒温恒湿槽 |
楠本化成 TH411HA |
温度:-40~+150℃ 湿度:20~98%RH |
600×600×500 |
恒温恒湿槽 |
楠本化成 FX424P |
温度:-40~+150℃ 湿度:20~98%RH |
700×950×700 |
超低温 |
エスペック PSL-2KPH |
温度:-70~+150℃ 湿度:20~98%RH |
600×850×600 |
恒温恒湿槽 |
エスペック PL-3FPW |
温度:-40~+100℃ 湿度:20~98%RH ※長時間湿度制御 不可 |
600×850×800 |
恒温槽 |
エスペック PVH-110M |
室温:+10~+300℃ |
450×600×450 |
高度加速 |
楠本化成 PM420 |
温度:+105~+162℃ 湿度:75~100%RH 圧力:0.0196~0.392MPa |
270×300×300 |
冷熱衝撃 |
楠本化成 TS100W |
高温:+60~+200℃ 低温:-65~-10℃ |
370×330×400 |
冷熱衝撃 |
楠本化成 NT1050W |
高温:+60~+200℃ 低温:-65~0℃ |
370×500×400 |
電磁環境試験機
EMI測定システム
機器名 | メーカー | 型式 | 仕様 |
スペクトラム |
キーサイト |
N9010A |
周波数範囲:10Hz~7GHz |
自動測定 |
東陽テクニカ |
EP5-RE EP5-CE |
放射ノイズ測定対応 雑音端子電圧測定対応 |
アンテナ |
シュワルツベック |
BBA9106 UHALP9107 BBHA9120D |
バイコニカルアンテナ ログペリオディックアンテナ ホーンアンテナ |
擬似電源 |
協立電子工業 |
TNW-242F2 |
周波数範囲:9kHz~30MHz |
その他電磁環境試験機
機器名 | メーカー | 型式 | 仕様 |
EMI/EMS測定用小型電波暗室 |
TDK |
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インピーダンス安定化回路網(ISN) |
TESEQ |
ISN T8 ISN T8 |
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パルスイミュニティ試験器 |
EM-TEST |
NX5 |
EFT/B試験
|
伝導性妨害イミュニティ試験 |
SCHAFFNER |
NSG2070 |
結合減結合回路網:M1,M2-16A, |
静電気試験器 |
ノイズ研究所 |
ESS-S3011&GT-30R |
出力電圧:0.2kV~30kV 放電用コンデンサ:150pF 放電抵抗:330Ω 放電間隔:0.05s~99.9s 放電回数:1回~60000回 |
電磁波妨害源探査装置 |
ノイズ研究所 |
EPS-M1 |
測定エリア:210mm×148mm 測定周波数範囲:30MHz~3GHz 測定分解能:1mm×1mm 測定結果の3D表示可能 |
シールドルーム |
ノイズ研究所 |
SH-H1313 |
シールド性能 外寸 |
Voltec |
PM3000ACE |
IEC61000-3-2 A14対応 電源容量:単相4kVA フリッカ測定/電圧ディップ、 |
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ノイズ |
ノイズ研究所 |
INS-4040 |
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微細構造解析分野の機器
メーカー・型式 | 仕様 | |
電界放出型走査電子顕微鏡 |
日本電子株式会社 JSM-7800F Prime |
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株式会社日立ハイテクノロジーズ S-4800 |
分解能:1.0nm(15kV) 試料サイズ:最大100mm径 |
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分析透過電子顕微鏡 |
株式会社トプコンテクノハウス EM-002BF |
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分析透過電子顕微鏡 |
Thermo Scientific Talos F200X |
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構造解析用集束イオンビーム装置 |
日本エフイー・アイ株式会社 Scios LoVacシステム |
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集束イオンビーム装置 |
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 XVision200TB |
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イオンミリング装置 |
日本電子株式会社 IB-19520CCP |
断面・平面イオンミリング(JEOL CP) クロスセクションポリッシャー(CP)
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イオンミリング装置 |
Gatan社 Ilion+ |
断面・平面イオンミリング(GATAN)
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精密機械研磨装置 |
ライカ社 EM TXP |
最小ステップ:0.5μm 最大加工面積:5mm×5mm程度 |
ウルトラミクロトーム |
RMC社 MT-X |
切片厚:数μm~数十nm 最大切削面積:5mm×5mm程度 |
低エネルギーイオンミリング装置 |
リンダ社 Gentle Mill IV5 |
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マニュピレーター |
ナリシゲ SISA-30TI-2 |
ピックアップ用のマニュピレーター機能を有した顕微鏡装置です。 |
レーザーマーカー |
HOYA CANDEO OPTRONICS(株)社 LR-2100ST |
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