超音波映像装置

電子部品、金属・樹脂材料などにおける欠陥を、超音波を用いて検出します。試料を破壊せずに試料内部の様子を画像化することができ、剥離、割れ、空隙などの内部欠陥の様子を把握できます。

各種部品・材料の品質確認や故障原因の解析などのために利用されています。

超音波映像装置

対象物

• 接着・接合体
• 金属・プラスチックケース
• 電子部品
• 貼合せウエハ

設備紹介

型式

Sonoscan C-SAM D9600

性能

パルサーレシーバ

：最大 500MHz、最大 95dB

最大有効範囲

：300mm×300mm

最大走査速度

：600mm/s

最小走査ピッチ

：0.5μm

最大試料サイズ
（幅×高さ×奥行）

：314mm×50mm×314mm

測定法

：反射波測定、透過波測定、
ウォーターフォール測定、画像解析

※測定中は試料を水の中に入れておく必要があります

装置外観

分析事例紹介

• 接着・接合体の接着・接合状態の評価
• 金属・プラスチックケースにおける割れの検出
• 電子部品の封止樹脂の品質確認
• 貼合せウエハの貼合せ界面における空隙の検出

測定例