製造業関連情報総合ポータルサイト@engineer
WEB営業力強化支援サービスのご案内
地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)
提供する試験・分析・計測メニューなど

電子線マイクロアナライザ

  • このエントリーをはてなブックマークに追加
  • @engineer記事クリップに登録
電子線マイクロアナライザ  /  試験・分析・測定

電子線マイクロアナライザ

電子線マイクロアナライザ(EPMA)は、細く絞った電子線を試料の表面に照射・走査した際に発生するX線、二次電子、反射電子を検出することで、サブミクロンオーダーの微小領域における元素分析や10万倍程度の高倍率での試料表面観察ができる装置です。

微小領域において高感度の元素分析が可能なこと、金属、セラミックス、樹脂等、様々な材料を対象にできることから、幅広い分野の故障解析や研究、製品開発等に活用されています。

対象物

  • 電子機器部品(端子、プリント基板、配線、モーター接点等)
  • めっき製品
  • 自動車関連部品

設備紹介

型式

JXA-iHP200F

性能

導入した装置は電界放射型(Field Emission : FE)の電子銃を備えるFE-EPMAであり、0.1マイクロメートル単位の空間分解能を有し大変微小な領域の解析ができます。

また、波長分散型X線分光器(WDS)とエネルギー分散型X線分光器(EDS)を同一のソフトウエアで制御可能なため、両者のメリットが集約されたシームレスな同時分析(WDS/EDSインテグレーションシステム分析)が可能です。

電子線マイクロアナライザ(本体および制御部)拡大する

電子線マイクロアナライザ(本体および制御部)

仕様
加速電圧
:1~30kV
照射電流範囲
:1pA~3µA
X線分光器
:WDX5ch、EDX
分析元素範囲
:B~U
二次電子分解能
:2.5nm
分析条件二次電子分解能
:20nm(10kV、10nA)、50nm(10kV、100nA)
試料寸法
:標準的な試料ホルダを使用する場合、Φ32x15 mm(H)以内となります。特殊なホルダを使用することにより、最大100mm✕100mm✕50mm(H)まで対応可能です。

事例紹介

  • 製品に混入した微小異物の成分を特定したい
  • 製品変色の原因物質を特定したい
  • 腐食の原因を調べたい
  • 接点不良の原因を調べたい
  • めっき・コーティングの膜厚や層構造を確認したい(断面試料を作製する必要あり)
SUS鋭敏化試料における粒界偏析元素(Cr)の分布拡大する

SUS鋭敏化試料における
粒界偏析元素(Cr)の分布

お気軽にお問合せください

試験計測のご相談や、機器使用などの技術的なお問い合わせ・ご相談など、お気軽にご連絡ください。

サイト内検索
新着ページ