電子線マイクロアナライザ

電子線マイクロアナライザ（EPMA）は、細く絞った電子線を試料の表面に照射・走査した際に発生するX線、二次電子、反射電子を検出することで、サブミクロンオーダーの微小領域における元素分析や10万倍程度の高倍率での試料表面観察ができる装置です。

微小領域において高感度の元素分析が可能なこと、金属、セラミックス、樹脂等、様々な材料を対象にできることから、幅広い分野の故障解析や研究、製品開発等に活用されています。

対象物

• 電子機器部品（端子、プリント基板、配線、モーター接点等）
• めっき製品
• 自動車関連部品

設備紹介

型式

JXA-iHP200F

性能

導入した装置は電界放射型（Field Emission : FE）の電子銃を備えるFE-EPMAであり、0.1マイクロメートル単位の空間分解能を有し大変微小な領域の解析ができます。

また、波長分散型X線分光器（WDS）とエネルギー分散型X線分光器（EDS）を同一のソフトウエアで制御可能なため、両者のメリットが集約されたシームレスな同時分析（WDS/EDSインテグレーションシステム分析）が可能です。

電子線マイクロアナライザ（本体および制御部）

仕様

加速電圧

：1～30kV

照射電流範囲

：1pA～3µA

X線分光器

：WDX5ch、EDX

分析元素範囲

：B～U

二次電子分解能

：2.5nm

分析条件二次電子分解能

：20nm（10kV、10nA）、50nm（10kV、100nA）

試料寸法

：標準的な試料ホルダを使用する場合、Φ32ｘ15 mm（H）以内となります。特殊なホルダを使用することにより、最大100mm✕100mm✕50mm（H）まで対応可能です。

事例紹介

• 製品に混入した微小異物の成分を特定したい
• 製品変色の原因物質を特定したい
• 腐食の原因を調べたい
• 接点不良の原因を調べたい
• めっき・コーティングの膜厚や層構造を確認したい（断面試料を作製する必要あり）

SUS鋭敏化試料における
粒界偏析元素（Cr）の分布