金属、樹脂、セラミクス等、各種材料の電子顕微鏡解析
研究開発・トラブル解決において、電子顕微鏡は、形態観察から元素分析、結晶構造解析など様々な情報を得ることができる有用な手法です。KISTECでは、これらを可視化するための電子顕微鏡群、前処理装置などを各種揃えております。
- 試料作製から観察・分析まで対応可能
- お客様同席のもと、立ち合い観察も可能
- 公設試験所ならではの安心感(秘密保持)
FIB SEMのご紹介
設備紹介
■分析透過電子顕微鏡(FE-TEM/STEM/EDS)
型式
Talos F200X(サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社)
性能
加速電圧:200kV(標準)、120kV、80kV
分解能:TEM 0.12nm(200kV)、STEM 0.16nm(200kV)
プローブ電流:1.5nm@1nm
TEMボトムマウントカメラ:4,096×4,096 CMOS
STEM検出器:BF、DF、HAADF(同時取得可)
EDS検出器:X型配置4SDD
分析対象元素:B~U
■電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)
型式
JSM-7800F Prime(日本電子株式会社)
性能
分解能:0.7nm(15kV)、 0.7nm(1kV)
検出器:上方検出器(UED)、上方二次電子検出器(USD)、
下方検出器(LED)、反射電子検出器(BED)
試料サイズ:最大100mm径
EDS:NORAN System7
(サーモフィッシャーサイエンティフィック製)
分析モード:点分析、線分析、面分析
分析対象元素:B~U
その他:STEM観察、低真空観察、GB観察
■構造解析用集束イオンビーム装置(FIB-SEM/EDS/EBSD)
型式
Scios LoVacシステム(日本エフイー・アイ株式会社)
性能
SEM分解能:1.0nm(15kV)、1.6nm(1kV)
検出器:二次電子検出器、反射電子検出器
推奨試料サイズ:最大30mm径×10mm程度
FIB分解能:5nm
EDS:X-MaxN 150mm2(Oxford製)
分析モード:点分析、線分析、面分析
分析対象元素:B~U
その他:低真空観察(10~50Pa)
解析事例紹介
解析事例1:金属ナノ粒子の高分解能観察
サンプル:金属ナノ粒子
使用機器:透過電子顕微鏡(TEM)
撮影倍率:100万倍~500万倍
試料作製:分散懸濁法
金属ナノ微粒子を溶液中にて分散し、TEM用支持膜上に固定・乾燥した後に観察。
※集束イオンビーム装置(FIB)によるTEM用の薄片試料の作製も対応可能です
金属ナノ粒子(全体像)
金属ナノ粒子(拡大像1)
金属ナノ粒子(拡大像2)
解析事例2:無機フィラーを含有した天然ゴム
サンプル:天然ゴム
使用機器:走査電子顕微鏡(SEM/EDS)
撮影倍率:2,000倍
試料作製:クライオイオンミリング法
クロスセクションポリッシャー(CP)にてサンプルを液体窒素で冷却しながら、SEM用の断面を作製した。
断面SEM像
元素マップ:Ca+O、Zn+S、Si+Al、C
解析事例3:めっき上の異物部の断面解析
サンプル:金めっき/ニッケルめっき/銅材
使用機器:集束イオンビーム装置(FIB-SEM/EDS)
撮影倍率:5,000~20,000倍
試料作製:FIB法
めっき上異物に対し、FIBを用いて、異物の断面作製を行い、内部評価を行った。
- 付着物ではない
- 内部から噴出した腐食物?
- 金めっきに無数のボイド(矢印)
加工前
加工後
加工後の断面(拡大)
解析事例4:Highコントラスト包埋剤を用いた電子顕微鏡観察
(グラファイトの観察)
電子顕微鏡観察をターゲットとした試料包埋剤を開発しました!!
特許第7445353号
サンプル:グラファイト
使用機器:走査電子顕微鏡(SEM/EDS)
撮影倍率:2,000~20,000倍
試料作製:Highコントラスト包埋剤+FIB法
カーボン系材料、窒化ホウ素などの軽元素から構成される材料の形態観察において、従来の包埋剤よりも高コントラストで観察が可能です。
特徴
- 低粘性で微細試料の細部まで含侵可能
- 物理的または化学的な方法により固体化可能
- 包埋剤自体に構造を持たない
- SEM、TEM、FIB、Ⅹ線顕微鏡に使用可能
※その他にも、グラフェン、カーボンブラック、
窒化ホウ素、高分子などに実績があります
上記以外にも、数多くの実績がございますので、お気軽にご相談ください。
(無料相談受付中)
お気軽にお問合せください
試験計測のご相談や、機器使用などの技術的なお問い合わせ・ご相談など、お気軽にご連絡ください。
- サイト内検索
- 新着ページ
-
- 11/21、22「プラスチック射出成形における不良低減を目指して」講座を開催します (2024年10月10日)
- 11/15 マネジメントシステム研究会【 “ジンザイ” 人材?人財?人罪?-人生100年時代における学びの悩み-】を開催します (2024年10月09日)
- 11/7から「品質管理講習会(技術課程)」講座を開催します (2024年09月30日)
- 11/8、11/12~11/15研究成果発表交流会「KISTEC Innovation Hub 2024」を開催します (2024年09月30日)
- 10/9「切削加工とレーザ粉体肉盛溶接の基礎」講座を開催します (2024年09月09日)
- ページカテゴリ一覧