世界最高の分解能を持つX線検査装置で高解像度・高品質な画像データを提供［東研X線検査］

No.1262　2011年6月17日

●　世界最高の分解能を持つ高輝度・微小焦点のX線検査装置

東研X線検査株式会社様では、高分解能X線検査装置の豊富なラインアップに
より、材料の微細な構造解析から大型基板の不具合検査まで、幅広いニーズ
に対応。半導体・電子部品の非破壊検査に最適な「透過型X線検査」と工業
用材料の三次元分析に適した「ナノフォーカスX線CT検査」をご紹介します。


　　　※※※※※※※※【 ここにフォーカス 】※※※※※※※※

　　　　　　　最高レベルの高分解能をもつX線検査装置で
　　　　　ハイコントラストの画像を提供「X線検査サービス」

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■　直径400mmの大型ステージ搭載　大型基板実装部品の不良確認に最適
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同社の透過型X線検査装置「TUX-3200」は、直径400mmの大型ステージを搭載
した検査装置です。実装基板や製品をカットせずに撮像できるのはもちろん、
60度までの傾斜をつけて透過観察を行うことが可能。半導体や電子部品の非
破壊検査、大型基板実装部品の不良確認などに最適です。
また、「TUX-3200」にX線CT装置のユニットをセットすることで、断面観察
や立体的な構造観察も可能です。小型電子部品に適した直行型と実装基盤に
適した傾斜型の2タイプあり、試料の大きさや検査の目的にあった対応が可
能です。


■　ナノレベルの検査で、高密度材料を構造解析
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ナノレベルの検査を実現し、高密度材料の構造解析を可能にしたのがナノフ
ォーカスX線CT装置「TOHKEN-Sky Scan2011」です。本装置には、超微小焦点
のX線源・高精度ステージ・高密度X線検出器を採用しています。
樹脂やカーボンといった軽い材料の断面や三次元構造を高分解能・高コント
ラストの画像で観察できます。工業材料のほか、生物試料（骨格や内臓組織）
の微細構造観察にも最適。低電圧で高輝度な撮像が可能です。


世界最高の分解能を持つ高輝度・微小焦点のX線検査装置で、「X線CTにより
多方向からの断面や立体構造を確認したい」「破壊検査の前に高分解能のX
線非破壊検査を行いたい」といったご要望にお応えします。X線検査受託サ
ービスについて、お気軽にお問い合わせください。