世界最高の分解能を持つX線装置を使用した受託検査サービス［マース東研X線検査］

No.1456　2012年7月4日

● 微細なX線CT観察や製品の欠陥検査なら、お任せください。

樹脂・カーボンといった軽元素材料のCT観察や、自動撮像機能を使用して短
時間で多くの欠陥検査を行っているのが、マース東研X線検査様です。
同社は、7/1より、東研X線検査株式会社から『マース東研X線検査株式会社』
へ社名変更いたしました。


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　　　　　軽元素の微細なX線CT観察や製品欠陥自動検査に対応
　　　　　　　　　　　　X線検査受託サービス

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■　工業用材料はもちろん、生物試料のX線CT検査にも
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同社のナノフォーカスX線CT検査は、観察が難しい軽元素の試料も観察可能
です。まずは、工業材料のCT検査画像をご覧ください。

また、生物試料においても低電圧・高コントラストで微細構造を観察可能で
す。


■　製品の欠陥検査に有効なX線透過検査
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ウエハーバンプのボイド検査や樹脂成形品の欠陥検査などに最適な、X線透
過検査。自動撮像→自動保存機能（マッピング機能・ステップ送り機能）に
より、短時間で多くの検査（撮像）ができます。

φ400mmの大型ステージを使用することで、大型基板や12インチのウエハー
を搭載して検査が可能です。


ナノレベルの検査を実現し、高密度材料の構造解析を可能にする同社のナノ
フォーカスX線CT検査。受託サービスについて、お気軽にお問い合わせくだ
さい。