No.1667 2013年11月22日
● 1秒未満の応答性能。予期せぬトラブルの見張り番「ケミカライザー」
薬液成分濃度計の新潮流。それが、クラボウ様のインライン赤外線液体成分
濃度計「ケミカライザー」です。チューブで配管に直結し、光ファイバーを
使用しているため、応答は1秒未満。リアルタイム管理を実現します。
予期せぬ重大なトラブルが発生する前に、見張り番として「ケミカライザー」
の導入をオススメします。
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測定1秒未満。 インライン赤外線液体成分濃度計「ケミカライザー」実機を
『セミコン・ジャパン』に展示。既存設備・枚葉式洗浄装置に対応
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■ 半導体洗浄、エッチング工程で薬液濃度測定や濃度コントロールに
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半導体洗浄、エッチング工程での洗浄液やエッチング液、液晶製造での有機
剥離液などは、濃度計による適正な濃度管理を行うことで、品質・歩留まり
の向上が可能。薬液量も削減でき、ランニングコスト低減に貢献します。
これまで測定が難しかった枚葉式洗浄装置に対応し、既存設備にインライン
で追加設置できるのが、「ケミカライザー TECH」です。
高温薬液(80℃)や流量が高く泡の発生などがある複雑な環境でも、精度の
高い安定した測定が可能。同社独自の測定アルゴリズムがいかんなく発揮さ
れた濃度計です。実際に、薬液使用量を20%削減した事例もあります。
■ アンケート回答者にもれなくプレゼント
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「ケミカライザー TECH」の実機をご覧いただけるチャンスが、12月4日~6
日まで幕張メッセで開催される『セミコン・ジャパン 2013』です。
期間中、インライン赤外線液体成分濃度計のスタンダード「ケミカライザー
Pro2」も展示。担当者が、それぞれの特長・効果について解説します。
この機会に「ケミカライザー」の効果をお確かめください。
また、同社のブースでは、アンケートにご回答いただいた方にはもれなく、
プレゼントを進呈します。ぜひ、お立ち寄りください。
液体成分濃度計「ケミカライザー」のカタログのご請求や詳細について、お
気軽にお問い合わせください。
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