球面収差補正ができる。最新「STEM」による高分解能観察・高感度分析サービス。［日立パワーソリューションズ］

No.2022　2015年11月18日

● 材料やデバイスの構造、組成、化学結合状態を高レベルで測定

近年、材料や製品の微細化に伴い、原子レベルでの構造や組成の評価が重要
視されています。これらの評価に広く用いられているのが、走査透過電子顕
微鏡（STEM：Scanning Transmission Electron Microscope）です。

株式会社日立パワーソリューションズ様では、球面収差補正を搭載した最新
の日立 走査透過電子顕微鏡を導入。「高分解能観察」、「高感度EDX分析」、
「高エネルギー分解能EELS分析」が可能です。
材料やデバイスの構造、組成、化学結合状態を高いレベルで測定する「高分
解能観察・高感度分析サービス」を提供します。


■□――――――――― 【 ここにフォーカス 】 ―――――――――□■

サブナノメートルの電子線プローブにより、原子列を可視化
球面収差補正器搭載 STEMによる「高分解能観察・高感度分析サービス」

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■　Si原子列の0.136nm間隔で並ぶダンベル構造を観察
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「高分解能観察」： 球面収差補正器の搭載により、原子レベルの高分解能
で明視野STEM像、環状暗視野STEM像、二次電子像の取得ができます。

例えば、半導体デバイスに多く用いられるSi(110)方向の環状暗視野STEM像
では、Si原子列の0.136nm間隔で並ぶダンベル構造が観察できます。サブナ
ノメートルの電子線プローブにより、原子列の可視化も可能です。


■　燃料電池など、貴金属触媒の元素分布を観察
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「高感度EDX分析」： 大口径100平方mm SDDにより、微小領域、微量元素の
高感度EDX分析が可能です。
例えば、数nmの微粒子で形成される燃料電池などの貴金属触媒において、
PtコアPdシェルの元素分布が明瞭に観察でき、コアシェル構造を持つ触媒粒
子のSTEM像、SEM像、EDXマッピング分析の結果を提供します。

「高エネルギー分解能EELS分析」： 冷陰極電解放出形電子銃とDualEELSの
組み合わせにより、高エネルギー分解能で高精度なEELS分析に対応します。
例えば、結合状態の違いにより、EELSスペクトルの微細構造が異なるカーボ
ン材料の組成分析や化学結合状態の評価ができます。


立会い分析も行っています。試料状況を確認しながら観察・分析箇所や各種
条件の指定が可能。測定したデータは当日にお渡しできます。お気軽にご相
談ください。