最小加工サイズ100nmのピンホールやスリットなど微細なストレート孔を高精度に製作！真空機器や検査装置用途向け部品に最適。［東レ・プレシジョン］

No.2605　2020年8月31日

● 超短パルスレーザー加工機と精密加工技術を融合

φ1μm以下の微細加工を得意とするのが東レ・プレシジョン株式会社様です。
例えば、FIB（集束イオンビーム）加工では熱影響が少なく、高品位な仕上が
りの加工が可能です。

同社では、溶融除去加工やアブレーション加工（特に孔あけ加工）に特化し
たレーザ加工機を自社で独自開発し、受託加工に活用。
そのうえ、3次元測定器をはじめ、SEM等の検査設備を駆使し、高い精度で製
品を検査・評価しています。高速・高効率な孔あけ加工、精密な切断加工な
ら、お任せください。


■□――――――――― 【 ここにフォーカス 】 ―――――――――□■

検査機校正用微小異物サンプル、微細孔のストレート孔加工に対応
精度保証のある高精度加工で安心

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■　検査機校正用微小異物サンプル製作に実績。オーダーメイドにも対応
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リチウムイオン電池などのセパレータで金属異物の混入検査をする際に使
う、微小な校正用異物サンプルを製造しているのが同社です。
φ数十μmオーダーの微細加工した金属ワークを異物テストピースとして使用。
サンプル例として、SUS304の材質で直径30μm、厚みt20μmを製作しています。

東レ・プレシジョン製作の校正用微小異物サンプルでは、以下の２つの特長
があります。

１．寸法保証
　　測定精度±1μmで校正・管理が徹底された電子顕微鏡（SEM）にて計測検
　　査を実施しています。
２．ピックアップ
　　目視困難な異物サンプルはピックアップ（ハンドリング）作業が非常に
　　難しく、簡単に作業ができるように異物サンプルを薬包紙等に接着固定
　　した状態にして納品することが可能です。

ご要望に沿った形状で、μmオーダーの異物サンプルや校正用の標準サンプル
を製作します。さらに、標準スケールを用いたSEM観察で、寸法精度も保証
され、安心です。


■　従来加工を凌駕する微細孔のストレート孔加工
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これまでは難しかったピンホールやスリットの依頼も、諦めずに同社にご相
談ください。真空機器や検査装置関連のリーク、漏れの評価・テスト用のピ
ンホールやスリットを提供。最小加工サイズとしては、スリット100nm、孔
径φ100nm、最小板厚は500nm以上が目安です。

微細孔のストレート孔加工について「従来加工と比べて最もストレートに近
い」という評価をお客様からいただいています。お客様のご要望に沿ったワ
ークに加工できるので、板材だけでなく部品への追加孔にも対応。
食品、医療関係のピンホールによる影響評価や流体計測関係のオリフィス等、
様々な用途の製作にお応えします。


同社が得意とする精密加工技術を最大限にご活用いただくためのポイントを
分かりやすく解説した『精密加工 技術ハンドブック』をプレゼントしてい
ます。ぜひ、ご活用ください。


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