【刃径：Φ0.05～】静電チャック（ESC）に最適な半導体セラミック加工用マイクロドリル[GCTダイヤモンド・コーティング]

No.2778　2023年1月18日

●韓国内のすべての静電チャック（ESC）製造企業から承認

半導体用セラミック加工のためのマイクロドリルを提供されているGCTダイ
ヤモンド・コーティング様では、主にAl2O3、AlN、SiC、ZrO2、Quartzなど
の難削材に対応。特に半導体分野の静電チャック(ESC)、シャワーヘッドの
加工に多く使われており、韓国内のすべての静電チャック（ESC）製造企業
からの承認を得ています。刃径はΦ0.05から多様なサイズの製品をご用意。
オーダーメイドも可能です。


■□――――――――― 【 ここにフォーカス 】 ―――――――――□■

天然ダイヤモンドと非常に似た強度を実現した高品質ドリル
刃径はΦ0.05より多様なサイズをご用意。カスタマイズも可能

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■　多層コーティング構造により、天然ダイヤモンドと似た強度を実現
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半導体セラミック加工において、もっと小さい径のドリルの必要性や、既に
検証済みのドリルでなければならないということがあると思います。同社の
ダイヤモンド・コーティング技術を用いたドリルは、刃径はΦ0.05から対応。
ナノ結晶質コーティング層（Nano-crystalline coating）と結晶質コーティン
グ層（Crystalline coating）を繰り返した多層コーティング（Multi-layer
coating）により、天然ダイヤモンド（Natural Diamond）と非常に似たよう
な強度を実現。外部からの衝撃を吸収する高品質なドリルです。
半導体装置用の各種セラミックをはじめ、さまざまな難削材にも対応します。

>> Φ0.1穴あけ加工（静電チャックESC Plate）の動画とマイクロドリルの詳細


■　刃径：Φ0.05、Φ0.07、Φ0.09、Φ0.1～から多様なサイズ
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マイクロドリルは、多様なサイズをご用意。Φ0.05～Φ0.2のマイクロドリル
は、半導体の核心装備であるプラズマエッチング装置の下部電極にあるヘリ
ウムガスホールを加工するためには不可欠です。
オーダーメイドでのご依頼も可能です。まずは資料をご覧いただき、ご要望
の刃径、刃長があるかご確認ください。

>> GCTダイヤモンド・コーティングの資料ダウンロードはこちらから


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