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ビーム加工、金属３Ｄプリンターによる精密微細メタルマスク加工と用途提案[東レ・プレシジョン]
NAVIメールPlus2024年3月1日配信
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東レ・プレシジョンは、微細孔加工・微細スリット加工用の各種加工機を保有しております。
マスクとは、レーザー光を通す範囲を限定するフィルターを指します。マスクで遮られていない部分にのみレーザー光が当たるので、微細な構造を再現できます。
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直線、曲線のスリット加工。スリットの間の肉厚も2μm程度まで隣接可能
ビーム加工による精密微細マスクをご提案
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東レ・プレシジョンは、レーザー加工に於いて熱加工、非熱加工、集束イオンビーム（FIB）を保有しております。レーザー加工は、機械加工で難しい微細加工に適しており、微細孔加工・微細スリット加工に用いることが出来ます。
■熱加工レーザー
当社採用のロングパルスレーザーは、微小孔で多孔等を高速・高品位に加工出来ます。前後の処理工程精密加工技術との組合わせで、低コスト加工をご提案します。
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■超短パルスレーザー加工
パルス幅の非常に短いレーザー（ピコ秒、フェムト秒等）を用いて微細加工する加工法です。熱影響が少なく、高品位な仕上がりになります。
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■集束イオンビーム（FIB）加工
数ミクロンからナノオーダーの加工を
高精度・高品位に実現できます。
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■小孔径サイズ
 
■加工例
 
 
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当社微細孔加工技術の最小孔径φ0.1μm加工技術を用いて、ビームを切ることなく連続照射することで直線、曲線のスリット加工から精密微細マスクを提案します。
- スリットとスリットの間の肉厚も2μm程度まで隣接可能
- 当社保有設備を駆使することでスリット幅を自由に選択出来ます
※但し、ワーク厚み／スリット幅≦5の関係があります
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ビーム加工技術について詳しくはカタログにて解説中
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ワーク厚み／スリット幅の制約が無い自由設計
複雑な形状に対応できる金属3Dプリンター造形
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東レ・プレシジョンの金属3Dプリンター造形は、微細造形機～大型造形機まで対応可能・汎用金属～レアメタルまで対応可能です。
■金属3Dプリンターの造形方式
- レーザーパウダーベット方式（粉末床溶融結合方式）
比較的小型・複雑な形状で高精度造形向き
- レーザーデポジション方式（指向性エネルギー堆積方式）
大型造形、既存製品への部分造形や補修向き
■加工例
【コーデッドマスク（符号化開口）】
セル短辺長さ：1.2mm
厚み：1.0mm
支持体（樹脂）を用いる為、ブリッジ不要
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【コリメーター 】
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■適用材質ラインナップ
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純タングステン（W）
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ニッケル合金（ALLOY IN718/C276/X）
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チタン（Ti64）
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純タンタル（Ta）
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純モリブデン（Mo）
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マルエージング鋼
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ステンレス鋼（SUS316L/SUS630）
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ステライト6
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高速度工具鋼（SKH51）
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合金工具鋼（SKD61）
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アルミ合金（AlSi10Mg/AlSi12）
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スーパーインバー
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金属3Dプリンター技術を活用することで、ビーム加工の超微細領域ではありませんが、ビーム加工のワーク厚み／スリット幅≦5の制約が無く自由設計で複雑な形状をしている、コリメータやコーデッドマスクを提案をします。
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金属3Dプリンター造形について詳しくはカタログにて解説中
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東レ・プレシジョンが得意とする精密微細加工技術を活用したマスク加工の技術紹介や事例をまとめました。ぜひご参照ください。
■マスク加工のご提案 [3ページ]
- ◎ビーム加工技術を用いた精密微細マスクのご提案
- ◎金属3Dプリンター設備と対応材料
- ◎金属3Dプリンター造形事例 など
![マスク加工のご提案 [3ページ]](/pr/images/show/71389) ![マスク加工のご提案 [3ページ]ダウンロード](/pr/images/show/71390)
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マスク加工に関するご相談・お問い合わせはこちら
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次回メルマガは、「高温融点材料加工」の詳しい特長を
ご紹介いたします。お楽しみに。
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