メトラー・トレド株式会社

資料・ホワイトペーパー

資料・ホワイトペーパーの一覧

環境産業機械機器

▼半導体製造向け超純水におけるTOC 分析（日本語版）
▼半導体・精密電子部品産業向け純水管理カタログ（日本語版）
▼純水のインライン水質管理（日本語版）

半導体製造向け超純水におけるTOC 分析（日本語版）

全有機炭素の正確な連続モニタリング - 超純水の水質要件

このアプリケーションノートでは、半導体用超純水における信頼性の高いリアルタイムのTOC 分析の重要性について説明します。超純水は、ありとあらゆる化合物を溶かす極めて強力な溶剤で、マイクロエレクトロニクス業界におけるウェハーの洗浄や製造に使用されています。

エレクトロニクス業界では、ここ40年間でシリコンチップ上にエッチングする回路の数が指数関数的に増加してきました。この回路数の増加によってライン幅は大幅に細くなり、その結果、超純水中のTOC の正確な連続測定に関する要件が劇的に増えています。

半導体製造向け超純水におけるTOC 分析（日本語版）

■全4 ページ

■目次

P1：UPW システムにおけるTOC の影響【半導体産業】
P2：水システムの有機物源、紫外線酸化 / 導電率によるオンラインTOC
P3：UPW システムのTOC 測定

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半導体・精密電子部品産業向け純水管理カタログ（日本語版）

50年以上も前に、ソーントンは独自の超純水向けアナログ式比抵抗計を開発・製造し、さらに業界で初めて、超純水向け温度補正機能装備のマイクロプロセッサを用いた比抵抗測定機器を開発しました。

ソーントンは長年にわたって比抵抗の限界値を定義し、その測定器は半導体産業・精密電子部品産業の純水管理において比抵抗測定の標準となりました。

半導体・精密電子部品産業向け純水管理カタログ（日本語版）

■全16 ページ

■目次

P2：イノベーションと品質に対する確かな約束
P4：高度なプロセス分析のための革新的測定ソリューション
P6：水循環のトータルマネジメント- 先進的な変換器による優れた制御
P8：精度の高い測定- 正確なインラインソリューション
P10：生産量を最大化- 半導体製造工場における製品損失を低減
P12：環境目標の達成- より効率的な水の利用
P14：メトラー・トレドのサービス- 規格に合わせたグローバルサポート

■トピック

先進のプロセス分析を実現する革新的な測定ソリューション
純水製造サイクルを総合的に管理 - UniCond™とISM™による卓越した制御
正確なインラインソリューションで精度の高い測定を実現
生産量を最大化 - 半導体製造工場における製品損失を低減
太陽電池セルの汚染物質を排除 - 製造における水の純度を保証
生産性を改善 - 少ない化学薬品で多くの生産量を実現
より効率的な水の利用で環境にやさしく
メトラー・トレドが提供するサービス
- お客様の標準規格に適合するグローバルサポート

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純水のインライン水質管理（日本語版）

医薬品製造、電力発電、半導体産業のための純水水質管理

純水を製造プロセスの一部として利用するすべての産業は、水質制御および監視、法規制への適合のため正確にさまざまなパラメータの測定と分析をする必要があります。

医薬品製造企業は、USP、EP、JP、ChP、IPのような薬局方およFDAやEMAを含む安全当局法規に準拠することが求められます。
発電所は、発電タービンの安全稼働を確保するための保証要件に適合することで腐食や汚染物質の沈殿を制御するガイドラインに適合しなければなりません。半導体メーカーはITRS、SEMI、およびASTによって設定された厳格な規格に従っています。

メトラー・トレド・ソーントンは50 年以上も純水の水質管理に関連するプロセス分析技術と機器の開発を行っているマーケットリーダーです。
さまざまな産業の法規制に準拠するためのインテリジェントな測定機器や長年のノウハウを提供しています。

医薬品製造においては、幅広いポートフォリオのセンサと分析機器を提供するだけでなく、時間とコストがかかるラボ測定法から真の測定値に近い効率的なオンライン微生物試験装置も提供しています。
超純水からCIP/SIPプロセスまでの範囲をカバーする導電率計そしてポータブル型オンライン全有機炭素センサを提供しています。