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事例

高速・高感度ガス分析を可能にする 電気冷却MCT検出器

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FTIR・赤外顕微鏡  / 2024年12月11日 /  化学・樹脂 電子・半導体 試験・分析・測定

フーリエ変換赤外分光法(FTIR)は、ガス分析において強力で汎用性の高い技術です。赤外吸収を測定し、ライブラリ検索により未知のガスを同定できます。古典的最小二乗法(CLS)を用いた多変量解析により、最大30成分の複雑な混合ガスの定量分析が可能です

 

気体分子の特性により、FTIRガス分析では高いスペクトル分解能(0.5~2 cm⁻¹)が必要です。これにより、水や二酸化炭素などの干渉があっても目的のガスを分析できます。

 

FTIRの利点には、複数ガスの同時分析、リアルタイムモニタリング、複雑な混合ガスの定量化があります。応用例として、ディーゼルエンジンのNOx排出削減や半導体製造における反応性ガスの濃度モニタリングがあります。

 

当ページでダウンロードできるアプリケーションノートでは、液体窒素を必要としない電気冷却型MCT検出器を搭載したNicolet Apex FTIR分光光度計が、その高速スキャン性能と優れた感度によって、ガス分析における強力なソリューションとしてご活用いただける実例を紹介しています。

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