製品・技術
半導体製造装置部品の加工用素材にも使用されるPTCプレート
PTCプレートは、高純度アルミナの平板形状のセラミックスプレートで、一定サイズ・一定厚みの規格品として提供している製品です。
弊社では、豊富な常備在庫がある為、短納期での対応も可能です。
装置部材・治具・支持材など、幅広い分野で使用されており、
特に、耐熱性・耐薬品性・耐摩耗性・絶縁性といった特性から、半導体関連装置や製造プロセス周辺で使用されるケースも多くあります。
特徴
1.平板形状で扱いやすいセラミックプレート
2.耐熱性・耐薬品性・耐摩耗性・絶縁性
3.規格品のため、常備在庫があり、安定供給が可能
4.規格サイズだけでなく、必要なサイズにカットしての対応も可能
対応可能サイズ
・□210×4t~29t
・125 × 250L × 2t~21t
※詳細なサイズ一覧・規格寸法については、下記より寸法規格表をダウンロードできます。
一般的に想定される用途例
・各種装置・治具の支持プレート
・電気絶縁を目的とした絶縁プレート
・作業工程での当て板・ベースプレート用途
・半導体製造装置周辺での支持材・当て板用途
・その他、加工用素材としての用途
※記載内容は一般的な用途例です。
お問い合わせについて
PTCプレートの規格選定や仕様についてのご相談は、
下記よりお気軽にお問い合わせください。
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TEL:0561-83-6711(本社)
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