【書籍】クリーンルームの微小異物・汚染物対策と作業員教育（No.2070BOD）

クリーンルームの

微小異物・汚染物対策と作業員教育

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 ◎　半導体、電子部品、化学品・材料、医薬品、食品など
　　　　各製品の生産機器、製造プロセスが生み出す、微小異物の特性と対策を詳細に解説！

■　目　　次                                                                                                    

第１章　人から生まれる塵埃・汚染物質の発生原因と作業員教育
第２章　クリーンルームへの異物持ち込みの防止策
第３章　クリーンルーム内で生まれる異物の防止策
第４章　クリーンルームにおける温度・湿度・静電気の管理手順
第５章　クリーンルームへの昆虫類の侵入・混入防止教育
第６章　クリーンルーム内作業の常識・非常識と作業員教育
第7章　半導体プロセスにおける塵埃・汚染物質対策と作業員教育
第8章　電子部品・光学部品等の製造工程における塵埃・汚染物質対策
第9章　化学品・材料分野のクリーンルームの異物対策と作業員教育
第10章 バイオロジカルクリーンルームにおける汚染・異物対策と作業員教育
◆付録 クリーンルームに関する国内外の規格の解説

■本書のポイント                                                                                                  

1. 人から生まれる異物・発塵への対策
　　～作業員教育でどこまでリスクを抑制できるか？そのポイント

　・発塵の原因となる作業動作とその実態　
　・クリーン服を着用しても塵埃は生まれる！正しいへの知識と留意点
　・更衣・エアシャワーの正しい手順と入退室教育
　・人から生まれたパーティクルの舞い上がり
　・飛散の実態と対策

2. 人が持ち込む異物・発塵への対策
　 ～清浄度クラスに応じてどれくらい厳しくするのか？その判断基準

　・材料・部品、生産装置、計測器、薬品、書類、筆記用具など、
　　 持ち込む物品の取り扱いでの留意点とは？
　　 持ち込み制限をどのように考えるか？
　・前室の正しい管理・運用法と異物持ち込みの防止策
　・清掃の不十分、不適切が汚染を招く！
　　 キレイにするための清掃がかえって汚染原因とならないために

3. 温度・湿度・静電気の管理と発塵対策　
　 ～微小異物の挙動制御に不可欠！そのシステム・ツールの活用法

　・静電気による微粒子の付着メカニズムと対策
　・ドライルームにおける除湿システムや水分計測器の管理
　・温度と湿度を一定に維持するための加湿技術の活用法
　・室圧設計による温度・湿度を維持とその留意点

4. 各産業分野におけるクリーンルームの異物対策
　 ～製造プロセス、製造機器から生まれる異物の事例

半導体・電子部品
　・アニール処理、ウエットエッチングでの異物対策
　・ケミカル汚染の原因と評価・除去技術、
　・静電気によるデバイス破壊
　・製造工程における事例（液晶ディスプレイ、マイクロLEDディスプレイ、タッチパネル、セラミック電子部品）

化学品・材料分野
　・プラスチック成形・加工工程、ラミネート工程、
　　塗装工程、粉粒体プロセス、薄膜プロセスなどでの
　　異物混入対策と作業上の留意点

バイオロジカルクリーンルーム
　・殺菌・除染技術の実際
　　（過酸化水素ガス、過酢酸、二酸化塩素ガス、オゾンガスフリーの殺菌洗浄剤）
　・医薬品CRにおける微生物管理・モニタリング
　・遺伝子操作における汚染・異物対策と作業員教育

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