【Live配信セミナー 6/11】光デバイス向けMEMS加工技術の解説と応用事例

＜セミナー　No.506412＞
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光デバイス向けMEMS加工技術の

解説と応用事例

★光デバイス適用に向けた加工プロセスの構築、微細加工技術の解説

■　講師
東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター　センター長　教授　博士（工学） 　戸津 健太郎 氏

■　聴講料 ：

1名につき５５，０００円（消費税込・資料付き）
〔１社２名以上同時申込の場合１名につき４９，５００円（税込）〕
〔大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。
　　　　　　　　 詳しくはお問い合わせください〕

※定員になり次第、お申込みは締切となります。

■　プログラム　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
【講演ポイント】
　MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)は、半導体微細加工技術を発展させて、基板上に回路だけでなくセンサや構造体あるいはアクチュエータなど多様なものを形成し、小形で高度な機能を持つ高付加価値の部品を実現する技術です。
その中で、光MEMSは、主にマイクロミラーを応用したディスプレイや光スイッチ、光スキャナなどとして活用されています。最近ではマイクロレンズアレイに代表されるマイクロオプティクスの作製技術としても注目されています。
　本講演では、光デバイス向けのMEMS要素、加工技術とその応用について解説します。

【プログラム】
１．MEMSの概要と応用分野

２．MEMS微細加工プロセスの解説
　2.1 リソグラフィ
　2.2 エッチング
　2.3 成膜
　2.4 接合・複合プロセス・パッケージング

３．光デバイスとその作製例

４．MEMS応用の最新動向

５．東北大学試作コインランドリ、MEMSパークコンソーシアムの取り組み紹介

【質疑応答】

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