封止パッケージのガス・水分量分析、気密性試験に対応［ナノサイエンス］

No.1297　2011年8月30日

● 半導体や電子部品内の水分量・ガス成分の分析ほか、気密性試験も

世界をリードする高度な分析技術をより速く、よりリーズナブルな価格で
提供しているナノサイエンス株式会社様。同社は、米国の分析会社
「オネイダ・リサーチ・サービス社（ORS社）」の日本代理店として、
「IVA/HR-IVA受託分析」および「Kr85リーク試験」等の信頼性試験サービス
も開始しています。いずれもMIL規格に準拠した分析・試験が可能です。


　　※※※※※※※※※【 ここにフォーカス 】※※※※※※※※※※

　　半導体パッケージほか、医療機器やプラスチックバックなどを分析
　　ナノサイエンス「IVA/HR-IVA受託分析・Kr85リーク試験サービス」

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■ 従来のパッケージ内ガス分析ではできない水分量や内部ガス成分を検出
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「IVA/HR-IVA分析」は、各種パッケージ中の水分、ガス成分の分析を行いま
す。
「IVA分析」は、封止されたパッケージデバイス内の水分量（水蒸気）、
主成分ガス、残留ガス成分の相対濃度について、質量分析計を用いて定量
分析する手法。電子デバイス、光デバイス、医療機器、プラスチックバック、
MEMS、照明などの封止パッケージ内の水分量、封止ガス、残留ガスを分析で
きます。
例えば、ガラスフリット封止を行なったセラミックスパッケージの良品と
不良品の比較などにご利用いただけます。
さらに、高感度IVA分析と呼ばれる「HR-IVA分析」では、従来のパッケージ
内ガス分析では検出できなかった微小封止パッケージの水分量や内部ガス
成分も検出できます。


■ 短時間に微小なリークレートの評価が可能「Kr85リーク試験」
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「Kr85リーク試験」は、封止パッケージの気密性試験です。極めて分析時間
が短く、一般に行われているHeリーク試験よりもより微小なリークレートの
評価が可能（＜10-12　atm cc /sec Air limits）な点が特徴。ハイブリッド
デバイス、センサー、医療移植片、SiベースのMEMSといったパッケージに用
いられています。


同社では、こうした各種電子部品の信頼性試験（環境試験、ESD試験など）
はもちろん、その故障解析（EMMS、CSAM）にいたるまで、様々な場面に対応。
プレッシャーポット試験や不飽和加圧蒸気試験など、製品の各種信頼性試験
に世界一流の技術でお応えします。
分析・標準試料について、同社社員一人ひとりが幅広い知識を持ち、提案・
アドバイスを行うとともに的確なサポートでお応えします。各種電子部品の
信頼性試験のご依頼やご相談など、お気軽にお問い合わせください。