製品・技術
TEM用イオンミリング装置 TEM Mill MODEL1051
最新式のイオンミリング／ポリッシングシステムです。あらゆる材質に対して、大面積の電子線透過領域を持つ高品質のTEM試料を作成する事が可能です。
イオンソースの1kV以下のパフォーマンスが高く、仕上げ加工でダメージレスな観察領域を広範囲に獲得できます。
特長
- 独立に制御可能な２つのTrueFocusイオン源を搭載
- 100eV～10keVの全範囲で小さなビーム径を維持
- -15°～10°の範囲でミリング角度を連続的に変更
- 液体窒素による試料の冷却（温度可変）
- 試料のロッキング（首振り）及び回転運動
- イオンミリング
- イオンミリングは、電子透過性が得られる厚さまで試料を薄く削る技術です。不活性ガスのアルゴンをイオン化し、試料表面に向けて加速照射します。この際の衝突イオンの運動量移行を利用し、試料表面の物質を自在にスパッタ除去します。
導入実績
- 東京大学
- 名古屋大学
- 大阪大学
- 東北大学
- 富山大学
- 名古屋工業大学
- 物質・材料研究機構
- 産業技術総合研究所
- 【導入事例】
- 富山大学 機器分析施設様
技術資料
- 【SrTiO3[100]入射でのHAADF-STEM像】
- 【論文への記載】Methodsに記載あり
- T. Seki et. al, Incommensurate grain-boundary atomic structure, Nature Communications 14,7806 (2023)
仕様
| E.A. Fischione Instruments社製 TEM用イオンミリング装置 TEMミル モデル1051 | |
|---|---|
| イオン源 | 2つのTrueFocusイオン源 |
| ビーム径：350μm（100eV時1mm） | |
| ビームエネルギー：100eV～10keV | |
| ビーム電流密度：～10mA/cm2 | |
| 試料ステージ | ミリング角度：-15°～10° |
| 360°の試料回転 | |
| 試料揺動 | |
| ロードロックによる素早い試料の出し入れ | |
| 試料ホルダー | 作業性、放熱性を考慮したデザイン（ローディングステーション付き） |
| クランプ機構により、影を作らずに0°までの両面ミリングが可能 | |
| X-Y 方向の位置調整が可能な試料ホルダー及びローディングステーション（オプション） | |
| 真空／不活性ガス 封入移動カプセル（オプション） | |
| 試料の冷却 （オプション） |
内部デュワーによる液体窒素誘導冷却 |
| 自動温度インターロック | |
| デュワーサイズ
標準タイプ：3～5時間の冷却 |
|
| ユーザーインターフェイス | 10インチタッチスクリーン |
| シグナルタワー（オプション） | |
| 装置サイズ | 重量：73kg |
| 寸法：幅660mm×高さ330mm（キャビネット上端まで）×奥行き520mm | |
| 電源 | 電圧：100V, 50/60Hz |
| 消費電力：720W | |
対応する規格
- CE規格
- ISO14001
デモ機について
- 国内デモ機2台を所有しており、御購入検討される御客様に1カ月～2カ月無償で貸し出ししております。 また、TEM Mill MODEL1051の前処理装置である超音波ディスクカッターMODEL170、ディンプリンググラインダーMODEL200も各2台デモ機を所有しておりますので、ラボラトリーパッケージでの貸し出しデモが可能です。
カタログダウンロード
TEM用イオンミリング装置 TEM Mill MODEL1051のカタログをダウンロードいただけます。
お問い合わせ
- 新着ページ
-
- 蛍光X線分析用融剤（フラックス） (2025年04月02日)
- Kulzer社製 常温硬化包埋樹脂 Technovit テクノビット (2025年04月02日)
- ダイヤモンドワイヤー切断機 CS-203 (2025年04月02日)
- SEM用イオンミリング装置 SEM Mill MODEL1061 (2025年04月02日)
- TEM用イオンミリング装置 TEM Mill MODEL1051 (2025年04月02日)
- 月別ページ
