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TEM用イオンミリング装置 / 2025年04月02日 / 試験・分析・測定

MODEL1051

最新式のイオンミリング／ポリッシングシステムです。あらゆる材質に対して、大面積の電子線透過領域を持つ高品質のTEM試料を作成する事が可能です。

イオンソースの1kV以下のパフォーマンスが高く、仕上げ加工でダメージレスな観察領域を広範囲に獲得できます。

イオンミリング: イオンミリングは、電子透過性が得られる厚さまで試料を薄く削る技術です。不活性ガスのアルゴンをイオン化し、試料表面に向けて加速照射します。この際の衝突イオンの運動量移行を利用し、試料表面の物質を自在にスパッタ除去します。

【論文への記載】Methodsに記載あり: T. Seki et. al, Incommensurate grain-boundary atomic structure, Nature Communications 14,7806 (2023)

E.A. Fischione Instruments社製 TEM用イオンミリング装置 TEMミルモデル1051
イオン源	2つのTrueFocusイオン源
	ビーム径：350μm（100eV時1mm）
	ビームエネルギー：100eV～10keV
	ビーム電流密度：～10mA/cm2
試料ステージ	ミリング角度：-15°～10°
	360°の試料回転
	試料揺動
	ロードロックによる素早い試料の出し入れ
試料ホルダー	作業性、放熱性を考慮したデザイン（ローディングステーション付き）
	クランプ機構により、影を作らずに0°までの両面ミリングが可能
	X-Y 方向の位置調整が可能な試料ホルダー及びローディングステーション（オプション）
	真空／不活性ガス封入移動カプセル（オプション）
試料の冷却（オプション）	内部デュワーによる液体窒素誘導冷却
	自動温度インターロック
	デュワーサイズ標準タイプ：3～5時間の冷却長時間タイプ：18時間以上の冷却
ユーザーインターフェイス	10インチタッチスクリーン
ユーザーインターフェイス	シグナルタワー（オプション）
装置サイズ	重量：73kg
装置サイズ	寸法：幅660mm×高さ330mm（キャビネット上端まで）×奥行き520mm
電源	電圧：100V, 50/60Hz
電源	消費電力：720W

国内デモ機2台を所有しており、御購入検討される御客様に1カ月～2カ月無償で貸し出ししております。また、TEM Mill MODEL1051の前処理装置である超音波ディスクカッターMODEL170、ディンプリンググラインダーMODEL200も各2台デモ機を所有しておりますので、ラボラトリーパッケージでの貸し出しデモが可能です。