電子線マイクロアナライザ（EPMA）は、試料から発生する特性X線を利用して元素分析を行う分析装置です。電子ビームを使用することから、極微小領域の元素分析及び元素分布を調べることが出来ます。
●B～Uまでの元素が分析可能
●軽元素分析専用結晶を装備している為、軽元素も金属並みの感度で分析可能
●X線の自己吸収が少なく、高感度分析が可能

【代表実施例】
●スイッチ部品（リレー、リードスイッチ）の接点、はんだ、基板、部品に付着または混入した不明物質の特定
●ボルト・止め具、端子（電子部品）等、金属の腐食原因究明
●ワイヤボンディングの接合部、合金部品（材料）の元素分布、めっき部品の状態等、合金の状態確認
●セラミック基板における元素分布・状態確認
●その他、半導体部品、配線（コード）等の材料特定及び状態確認