製品・技術

APIX δQ & APIX Quattro 超高純度ガスアナライザー

ガス分析計 / 2026年03月25日 / 電子・半導体試験・分析・測定先端技術

超高純度ガスをpptレベルで可視化する次世代オンラインガスアナライザー

APIX δQ & APIX Quattro は、半導体製造に不可欠な超高純度ガスの品質を、リアルタイムかつ高感度に分析するガスアナライザーです。

API-MS技術により従来法を超える検出性能を実現します。API-MSとは、大気圧イオン化を用いた高感度ガス分析技術です。

・pptレベル（<10 ppt）の超高感度分析
・水分・酸素・CO・CO2など多成分不純物を同時測定
・連続オンライン監視で品質管理を自動化
・従来技術比最大100倍の低検出限界
・半導体・電子材料向けUHPガス分析に最適

製品概要	【概要】・pptレベル（<10 ppt）の超高感度分析・水分・酸素・CO・CO2など多成分不純物を同時測定・連続オンライン監視で品質管理を自動化・従来技術比最大100倍の低検出限界・半導体・電子材料向けUHPガス分析に最適
特徴	【製品特長】・検出限界：<10 ppt（成分依存）・分析時間：数秒〜（高速オンライン測定）・測定対象：H2O、O2、CO、CO2、CH4、Kr、Xe 他・対応ガス：N2、Ar、He、H2（超高純度ガス）・測定方式：API-MS（大気圧イオン化質量分析）・イオン源バックグラウンド：<1 ppt ・自動校正・自動切替機能搭載・通信：RS232等（設備連携対応）本製品は「pptレベル×リアルタイム×多成分同時分析」において、従来の露点計・酸素計・GCを大きく上回る分析性能を提供します。
製品名・型番等シリーズ名	APIX δQ & APIX Quattro 超高純度ガスアナライザー
価格	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
メンテナンス体制	当社の確立されたサービスネットワークにより、お客様を包括的にサポートいたします。

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