製品・技術

• 露点雰囲気を制御した加熱

  鉄／非鉄金属 電子・半導体 試験・分析・測定
  
  弊社IR炉を使用した加熱試験の中で、雰囲気を制御することは容易に可能ですが、特に露点を制御して加熱が可能なシステム 「露点雰囲気制御付き赤外線加熱装置」をご紹介します。 弊社IR炉は、そのままでも炉体そのも…
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• 「平板型赤外線加熱装置」半導体のアニールなどの高速昇温が可能！

  赤外線加熱装置  /  化学・樹脂 電子・半導体 先端技術
  
  広い面積でも均一に加熱「平板型赤外線加熱装置」 3インチ以上の面積の化合物半導体やシリコンウエハー等は均熱良く加熱する必要があります。平板型赤外線加熱装置は、密閉チャンバーにより、雰囲気下で高速にかつ精…
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