【Live配信 or アーカイブ配信】プラズマプロセスにおける活性粒子の計測、モニタリングとプロセスの最適化

＜セミナー　No.508404＞

プラズマプロセスにおける

活性粒子の計測、モニタリングとプロセスの最適化

★プロセスプラズマ内における粒子の反応メカニズムを理解し、

　経験則に頼り過ぎないプラズマプロセス開発の考え方と方法論を学ぶ

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■講師

名城大学　理工学部　教授　竹田 圭吾 氏

■聴講料

１1名につき４９，５００円（消費税込・資料付き）

１社２名以上同時申込の場合１名につき４４，０００円（税込）

大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせください。

■セミナーの受講について
・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
　→ https://zoom.us/test
・開催数日前または配信開始日までに視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
　セミナー開催日時またはアーカイブ配信開始日に、視聴サイトにログインしていただきご視聴ください。
・出席確認のため、視聴サイトへのログインの際にお名前、ご所属、メールアドレスをご入力ください。
　ご入力いただいた情報は他の受講者には表示されません。
・開催前日または配信開始日までに、製本したセミナー資料をお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。
　お申込みが直前の場合には、開催日または配信開始日までに資料の到着が間に合わないことがあります。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
　複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・アーカイブ配信セミナーの視聴期間は延長しませんので、視聴期間内にご視聴ください。

プログラムああああああああああああああああああああああああああああああああああああ

【本講座で学べること】

・プロセスプラズマの基礎的特性について理解することができる。

・プロセスプラズマ内における活性粒子の生成・消滅（反応）過程について理解することができる。

・活性粒子や荷電粒子の各種計測法の原理を理解し、それらの実践方法について知ることができる。

・活性粒子による反応メカニズムを考慮したプロセス条件の最適化について検討することができる。

【講座概要】

プラズマを用いたプロセス技術は、現代社会を支える半導体デバイスや機械・電気部品の製造現場で広く利用され、近年では医療や農水産などのバイオ応用についても研究されています。気体の放電現象を利用するプラズマは、その内部において物理・化学的な作用をもたらす数多くの中性活性粒子や荷電粒子が生成され、存在しています。それら粒子の相互的な反応により高度なプラズマプロセスが実現されることから、本技術の継続的な発展や新たな革新にはそれら粒子の計測・モニタリングを通じた反応メカニズムの理解とその最適化が必要です。そこで本講座では、まずプラズマ内における活性粒子の生成・消滅に関わる反応過程など基礎的な理解も深めて頂きながら、それら粒子の分析に利用される各種計測法の原理と具体的な実施例について説明させて頂きます。以上を通じて、プラズマプロセス内の活性粒子の計測とモニタリングを通じた反応メカニズムの理解、さらには得られた知識を基にしたプロセス条件の最適化を検討して頂く契機となることを期待します。

１．プラズマの特性と活性粒子の反応

　1.1 プラズマの基礎特性

　1.2 活性粒子の生成過程

　1.3 活性粒子の気相反応

　1.4 活性粒子の表面反応

２．荷電粒子の各種計測技術の原理と特徴

　2.1 プローブ計測法

　2.2 干渉計測法

　2.3 発光・散乱分光法

　2.4 質量分析法

３．中性活性粒子の各種計測技術の原理と特徴

　3.1 発光分光法

　3.2 吸収分光法

　3.3 蛍光分光法

　3.4 質量分析法

４．活性粒子の計測・モニタリングによるプロセスの最適化と制御

　4.1 プラズマエッチングプロセス

　4.2 プラズマ化学気相堆積プロセス

　4.3 大気圧プラズマプロセス

　4.4 プラズマバイオ応用プロセス

５．まとめ

セミナーの詳細についてはお気軽にお問い合わせください。

２名以上同時にお申込される場合、２人目以降の方の情報は【弊社への連絡事項がございましたら、こちらにお書きください】欄にご入力をお願いいたします。