精密に追加工を施すのは至難の業とされている、24種の導電性セラミックスへの放電加工にも対応します。
事例
微細・薄肉化ならお任せください！
オンリーワン技術の放電加工方法だから実現した、半導体電子ビーム描画装置 電子銃用フィラメントの作成事例をご紹介します。
■放電加工技術｜タングステンフィラメントチップ
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▲半導体電子ビーム描画装置 電子銃用部品 |
▲中心部の拡大図 |
| 規格 | φ3.5×φ3.2×φ0.5×φ0.10 |
| 面粗度 | Ra0.2μm |
| 精度 | ±0.005 |
| 外周リング幅 | 0.15mm |
| スポーク幅 | 0.10mm |
| 最狭部 | 0.03mm |
| 材質 | 純タングステンt0.1 |
| 加工時間 | 10枚重ねで3時間（18分/1枚） |
| 仕上げ加工 | 鏡面加工 |
■微細化・薄肉化の事ならお任せください。
長年培った放電加工の技術とノウハウを駆使し、あらゆる微細加工に挑戦し続けています。
試作や特注品のほか、共同研究開発も行っておりますので、諦めた案件などありましたら、放電加工のスペシャリスト 橋川製作所にお気軽にご相談ください。
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