数ミクロンからナノオーダーの加工を高精度・高品位に実現するFIB（集束イオンビーム）加工[東レ・プレシジョン]

No.2768　2022年11月28日

● FIB加工でφ1ミクロン以下のナノオーダーの加工を可能に

φ1μm以下のナノオーダー孔から精密微細な形状まで、あらゆるミクロの製
品を高精度加工する「FIB（集束イオンビーム）加工」を得意とするのが東
レ・プレシジョン株式会社様です。

FIB加工は、集束させたイオンビームを加工したいワークに照射し、ワーク
材料の表面の原子を弾き飛ばして加工。特長は、熱影響が少なく高品位な仕
上がりです。紡糸用口金の技術をベースに、各種ノズルの設計製作に数多く
の経験と実績を持つ同社。FIB加工を他の微細加工と組み合わせることで、
高アスペクト比の孔加工など、新たな可能性が広がります。


■□――――――――― 【 ここにフォーカス 】 ―――――――――□■

穴（孔）・溝・スリットなどを“ナノオーダー”で加工する「FIB加工」

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■ ナノオーダーの孔から精密微細な形状まで、ミクロの製品を高精度加工
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FIB加工のビームは、数十ナノメートルと細く照射範囲も小さいことから、
数ミクロンからナノオーダーの加工を高精度・高品位に実現。例えば、同社
では
・医薬品や食品の異物検査に用いられるX線検査向け校正用微小異物サンプ
　ル

・真空機器や検査装置関連のリークや漏れの評価・テスト用にピンホールや
　スリット

・半導体デバイス等の故障解析で必要とされる物理解析手段のFIB断面加工

など、ナノオーダーの加工技術の幅を広げています。


■ お客様の案件に最適な加工方法をご提案
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同社は精密加工会社だからこそ、様々な技術を組み合わせた加工を提案して
います。お客様と相談しながら、「できない」ではなく「こうすればこうで
きる」という姿勢でご要望にお応えします。

FIB加工の応用例としては、FIB加工による超微細孔狭ピッチ多孔プレートの
作成が可能です。
最小サイズφ1μmで、ピッチ1.5μmが可能。
実績：φ1μm　ピッチ：5μm
100孔?100孔＝10,000孔

大面積・高速加工、SIM像による明瞭な組織構造など、同社のFIBの特徴を活
かしたデータ作製も請け負っています。高精度ステージによる精度の高い3D
再構築（トモグラフ）データを提供します。


同社は12月14日(火)から東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan
2022」に出展。FIB加工をはじめとする同社の超精密微細加工技術を知る絶好
の機会です。ぜひ、足をお運びください。


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