3D MEMS用振動・変位解析装置

高周波数240MHzまで対応
位相情報も含めてリアルタイムで確認可能
1nmから測定可能

製品概要

メムスマップ510は微小測定物(0.1mm以上)の振動変位解析をCCDカメラと顕微鏡レンズを用いて行います。
測定物にレーザーを照射し、測定物より反射されたレーザーと内部レファレン スレーザーとの間で干渉縞を作成します。この干渉縞を高精度の顕微鏡レンズとCCDカメラで画像処理ボードを通して、デジタルデータとしてPCに取り込みます。メムスマップは測定物の振動と変形を、リアルタイムモードおよび位相変調法の2つの異なる手法で測定することができます。
リアルタイムモードでは、振動と変形量を測定物イメージ上にフリンジパターン(等高線図)でオーバーラップさせて表示します。周波数をスウィープすることにより共振点の振動モードを容易に観察することができます。 また位相変調法を用いると、振動モード、変位モードをアニメーションや3Dプロットで表示することができるので、非常に優れた定量的および定性的な振動・変位解析を行うことができます。

特長

静的変形測定

下図は寸法3×3mmのシリコンメンブレンのガス圧力により変形されたときの変位モードです。リアルタイムで測定物上にフリンジパターンをオーバーラップし変位量が表示されるので、変位解析が簡単に確認できます。
測定感度は位 相変調法を使用することにより、約1nmに高めることができます。

シングル周波数振動測定（高周波対応　最大1GHz）

下のアニメーションは超音波部品14.3MHz & 水晶振動子37MHzでの振動モードの3Dプロット例です。
この3Dプロットは実際の振動状態の位相情報も含まれており、位相情報 を0から2πまで変化させることにより、測定物の振動状態をアニメーションで確認すること ができます。
振動測定で位相変調法を使用するとき、マイクロマップは測定物の加振周波数も同様にコントロールし、振動振幅は約1nm,周波数範囲は数百メガヘルツまで測定可能です。

製品仕様