5つの機能を１台に集約「レーザーマイクロスコープ」

世界初！ハイブリッド光学系マイクロスコープ！

「OPTELICS HYBRID」

 

「レーザーマイクロスコープ」、「カラーコンフォーカル」、「反射分光膜厚測定器」、「AFM」、「光干渉形状測定器」の5つの機能を１台に。
高度な連携であらゆる観察・測定領域を網羅します。

 

 

 

用途

　　各種用途材料の観察及び形状測定：

　　半導体材料＆デバイス、透明膜、ITO膜、MEMS、コーティング材料、フィルム、

　　無機・有機材料、バイオ系試料、金属部品、プラスチック加工部品など

　　

特長

• 高分解能：405nmレーザー光線による高倍率・高分解能観察で超微細構造も鮮明に   可視化
• 広視野観察：一般的なレーザー顕微鏡に比べて約1.6倍の広視野観察による作業効率の向上
• ナノオーダー測定：光干渉測定、反射分光膜厚測定、AFMによるナノレベル構造の測定（AFMはオプション）
• 波長選択：6波長からサンプルに最適な波長を選択し、様々なニーズに対応した観察・測定を実現
• 高精細カラー観察：カラーコンフォーカルの特長である焦点深度の深い高精細カラー 画像の取得

 

仕様

観察機能	レーザー高分解能観察、カラーコンフォーカル観察、微分干渉観察
測定機能	3D表示、高さ測定、表面粗さ、形状特徴(面積・体積・表面積など）、パッチワーク機能など
高さ測定	正確さ　±（0.11＋L/100）um 再現性（σ）0.01um
幅測定	正確さ　±（0.02×{100/対物レンズ倍率}＋L/100）um 再現性（3σ）0.01um
フレームレート	15Hz～120Hz
波長選択機能	436nm,486nm,514nm,546nm,578nm,633nm
干渉測定機能	Z軸測定精度1nm
膜厚測定機能	反射型分光方式
簡単操作	全自動設定,操作ガイダンス,マクロ機能など
オプション	自動測定ソフト,自動検査ソフト