【Live配信セミナー 5/27】スパッタリング薄膜の密着性改善技術とトラブル対策

＜セミナー　No.405425＞

【Live配信セミナー】

スパッタリング薄膜の
密着性改善技術とトラブル対策

★ 剥離の発生メカニズムは？ 密着性、品質信頼性を安定させるポイントを詳解！

------------------------------------------------------------------------------------------------

■講師

ソメイテック　所長　大薗 剣吾 氏

■聴講料

１名につき５５，０００円（消費税込・資料付き）

１社２名以上同時申込の場合１名につき４９，５００円（税込）

大学、公的機関、医療機関の方には割引制度があります。詳しくはお問い合わせください。

■Live配信セミナーの受講について
・下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
　→ https://zoom.us/test
・開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
・Zoomクライアントは最新版にアップデートして使用してください。
　Webブラウザから視聴する場合は、Google Chrome、Firefox、Microsoft Edgeをご利用ください。
・セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。
・当日は講師への質問することができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。万が一部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

プログラムああああああああああああああああああああああああああああああああああああ

【講座概要】
スパッタリング法は、半導体や電子部材、金属製品、建材など、様々な用途で用いられる薄膜形成技術で、産業における重要性は年々高まっています。
本講座では、スパッタリング法の、評価・分析方法、品質特性の改善方法、密着性・信頼性の改善方法についての、実務上の重要ポイントを具体的に解説します。
スパッタリング薄膜の技術的な課題を解決したい方、品質向上を図りたい方に大変お勧めです。

【受講対象】
スパッタリング薄膜に関する業務に関わる若手～中堅の技術者・研究者

【受講後、習得できること】
・スパッタリング法の物理現象と評価・分析技術の理解
・スパッタリング薄膜の特性を安定化させる方法の理解
・スパッタリング薄膜の密着性・信頼性・トラブル対策の方法

【プログラム】


1.スパッタリング法の物理現象と評価・分析技術
　1.1 薄膜技術の基本
　1.2 物理現象を把握することの重要性
　1.3 スパッタリングの現象と制御パラメータの関係
　1.4 膜厚・形状の測定、特性の評価、結晶構造評価、元素・状態分析
　1.5 機械的性質・密着性評価

2.スパッタリング薄膜の特性安定化
　2.1 特性実現と特性安定化
　2.2 特性と制御パラメータの間にあるものを理解する
　2.3 プロセスのばらつき・変動要因を理解する
　2.4 プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例
　2.5 スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント

3.スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善とトラブル対策
　3.1 薄膜の密着と剥離のメカニズム
　3.2 密着性改善・安定化のための具体的な手法
　3.3 薄膜の信頼性の問題と対策
　3.4 スパッタリング薄膜の欠陥モード
　3.5 スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
　3.6 ピンホール・付着異物の原因究明と対策


【質疑応答】

セミナーの詳細についてはお気軽にお問い合わせください。

２名以上同時にお申込される場合、２人目以降の方の情報は【弊社への連絡事項がございましたら、こちらにお書きください】欄にご入力をお願いいたします。